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No. 3, Wangjing North Road, Chaoyang, Pequim
Agilent Technologies (China) Co., Ltd
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Na análise de COV no ar ambiente, o sistema TD-GC/MSD é um método de detecção comum em laboratórios de monitoramento ambiental e salas limpas na indústria de semicondutores. Para a coleta de amostras, geralmente existem os seguintes dois métodos comuns. A primeira é a coleta e pré-enriquecimento de amostras com tubos de adsorção e, em seguida, a análise através do sistema TD-GC/MSD. O método HJ 734-2014[2] exige o uso de tubos de adsorção e TD-GC/MSD para detectar 24 COV. A Markes International publicou um relatório de aplicação baseado no método HJ734, que descreve os excelentes resultados de desempenho obtidos usando o método de amostragem por tubo de adsorção [3]. Outra abordagem é usar um tanque de amostragem pré-bombeado a vácuo para coletar amostras e usar condensação a baixa temperatura para pré-enriquecimento. A norma HJ759-20234 detalha a utilização de amostras de tanques para determinar 65 COV no ar ambiente.
Este estudo, com referência ao método HJ759-2023, analisou qualitativamente e quantitativamente 65 COV através de amostragem em tanques, obtendo resultados de excelente linearidade, alta precisão e excelente reprodutividade. Isso reflete plenamente a inercia, a alta sensibilidade e a durabilidade de todo o sistema TD-GC/MSD.