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E-mail
huijuan_sun@bct-tech.com
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Telefone
18610719775
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Endereço
Edifício 1, 6, Anqing Avenue, Zona Industrial B, Aeroporto, Distrito de Shunyi, Pequim
Solução
Beijing Boside Technology Co., Ltd
Visão geral do programa
Impulsionado pela demanda por inteligência artificial e computação de alta eficiência, com o desenvolvimento de materiais semicondutores de quarta geração e tecnologia de partículas, a largura da linha de chip passou rapidamente de 70nm para a era inferior a 7nm. A importância da detecção de poluentes moleculares gasosos (AMC) em processos de produção abaixo de 30 nm aumentou a uma altura muito importante.
A precisão de traços do monitoramento AMC, a integração do monitoramento, a análise automática de big data e a introdução de conceitos de controle inteligente de IA desempenham um papel crucial na redução do impacto de benefício causado pelo AMC.
A série BCT-AMC, um sistema de monitoramento ambiental de processo de semicondutores independentemente desenvolvido e produzido pela Beijing Bosside Technology Co., Ltd., abrange vários cenários de monitoramento on-line, análise de laboratório, análise de rastreamento de campo da máquina e outros, análise quantitativa precisa de espécies orgânicas mais, processo de análise altamente automatizado e integrado, com base de dados de poluição AMC dedicada e biblioteca de soluções de eliminação, com a ajuda da tecnologia de IA, realmente resolver os problemas reais do departamento de administração de produtos e do departamento de controle de micropoluição.
Cenas típicas
Ponto de Processo - Automação on-line de sistemas de análise precisa de AMC (VOCs)
Monitoramento on-line do ponto de distribuição:
• Usando tubos de amostragem PFA ultra-limpos para pontuação de fábrica, com uma área de monitoramento de até 35.000 m2 a 75.000 m2
• Amostragem automática, concentração, análise GC-MS, armazenamento em nuvem, geração automática de relatórios de detecção por IA com alarme de ultralimiar
• Monitoramento automático programado 7×24 horas
• Revestimento inerte de todas as peças durante todo o processo para evitar resíduos e adsorção
• Sistema de captura dedicado e sistema de foco para melhorar significativamente a linha de detecção e picos mais nítidos
Pontos suspeitos - Sistema de análise precisa de AMC (VOCs) de laboratório
Análise de laboratório de amostragem manual:
• O sistema é usado em laboratório, com base na capacidade de captura forte, capacidade de remoção de impurezas forte, capacidade anti-adsorção forte, alta precisão de amostragem, várias vias de ar específicas, todo o processo sem ponto frio, limpeza muito limpa e outras características, efeito conjunto, obter um limite de detecção menor
• Quantificação de componentes desconhecidos: o sistema permite uma análise completa da substância da amostra
• Pacote de teste de substâncias AMC (VOCs) desenvolvido especialmente para empresas de semicondutores
Detecção rápida: quantificação rápida dos poluentes e identificação oportuna das fontes de contaminação por COV
Forno de aquecimento de quartzo de wafer, aquecimento de amostra volátil:
• Pacote de teste de substâncias AMC (VOCs) desenvolvido especialmente para empresas de semicondutores
Detecção rápida: quantificação rápida dos poluentes e identificação oportuna das fontes de contaminação por COV
Mesa de trabalho - Sistema portátil de análise precisa de AMC (VOCs)
Mesa de trabalho - Análise de rastreamento de poluição:
• Análise rápida
Modo de navegação de espectro de massa único, o instrumento não entra diretamente no espectro de massa, análise de segundo nível, dados em tempo real.
• Alta sensibilidade
Rastreabilidade direcionada com maior sensibilidade: modo espectro de massa único, resposta de segundo grau, exibição dinâmica em tempo real da poluição e, se necessário, triagem de íons usando o modo SIM para navegação direcionada.
Tecnologia de amostragem de membrana permite que as amostras sejam enriquecidas por segunda vez antes de entrar no espectro de massa, aumentando a sensibilidade
• Traçabilidade precisa
Novo modo de navegação, profundidade na oficina, direção à fonte
A qualidade do equipamento de navegação tradicional é mais leve e resistente aos sismos, com base na navegação tradicional, você pode entrar mais na oficina, rastrear com precisão o ponto de processo de produção de poluição e ajudar as empresas a alcançar a governança do ponto de poluição.
• Resultados precisos
Modo de trabalho duplo: modo de navegação + modo de análise de ponto fixo GC-MS
Quantificação qualitativa de COV totalmente ionizados no ar com fonte EI de 70eV + barra de quatro graus, com base na biblioteca NIST padrão para precisão; Os resultados são compatíveis com os de laboratório.
• Aplicabilidade ambiental
Sistema de vácuo de bomba não mecânico para maior adaptabilidade ambiental
Elimine os componentes rotativos de alta velocidade e utilize bombas de vácuo não mecânicas para resolver problemas como a impossibilidade de operar a detecção em vibrações multidimensionais fortes.
Resultados de dados e espectrogramas de detecção
A introdução da solução de monitoramento AMC para a fábrica de processamento de semicondutores e o ambiente do equipamento foi concluída. Para mais informações, entre em contato conosco!