No processo de fotografia ultravioleta profunda de semicondutores, poluentes moleculares de ar AMC de grau traçado como NH3, HCL e HF são considerados "assassinos invisíveis" da qualidade do produto, sua reação com a fotografia de amplificação química afetará diretamente o desempenho do dispositivo de semicondutores, enquanto a operação dos métodos de monitoramento tradicionais é complexa, a resposta é lenta e a precisão é insuficiente para atender às necessidades de monitoramento preciso em tempo real da indústria. Neste contexto, a Duketech lançou o sistema de monitoramento de poluentes moleculares do ar Orion 3100S AMC, com a tecnologia que ultrapassa os pontos dolorosos da indústria para fornecer soluções para o monitoramento de salas limpas de semicondutores.

Como um dispositivo de monitoramento especialmente concebido para a indústria de semicondutores, a principal vantagem do sistema de monitoramento de poluentes moleculares atmosféricos Orion 3100S AMC vem da tecnologia CEAS (Cavity Enhanced Absorption Spectrum). Em comparação com os métodos de medição indireta tradicionais, como filtros de pó de impacto, cromatografia iônica e tecnologia CRDS, o sistema não precisa de alinhamento rigoroso do feixe laser, instalação fácil e estabilidade mecânica para capturar poluentes de traços com rapidez e precisão. Sua precisão de detecção atinge o nível da indústria, o limite de detecção de HCl e HF é baixo até 0,1 ppb, o limite de detecção de NH3 é menor que 0,1 ppb, para alcançar medições em tempo real de nível sub-ppb, evitando eficazmente a interferência cruzada de vapor de água, CO2, O₂ e outros componentes na atmosfera para garantir a precisão e confiabilidade dos dados.

O sistema é totalmente adaptado ao cenário de produção de semicondutores no design funcional, com competitividade central multidimensional. A velocidade de resposta é extremamente rápida, levando apenas 5 segundos para cada canal, com configurações flexíveis de 1 a 64 canais que cobrem amplas áreas de medição para atender às necessidades de resposta de alta sensibilidade em vários gases. Um computador com sistema Linux integrado que suporta armazenamento de dados massivos e saída multi-interface para integrar de 4 a 6 dados do analisador através de módulos analógicos Ethernet, RS485/RS232 ou 4-20mA. O software exclusivo DUKE HMI integra o controle de amostragem multiponto, exibição de curvas de dados em tempo real, alarmes, análise de tendências históricas e outros recursos, além de suportar o controle remoto de rede, que permite aos usuários operar com permissões em vários níveis em qualquer local conectado com um navegador e conectar-se à sede da Duke Tech ou a um fornecedor de serviços para diagnósticos remotos.

Além disso, o sistema de monitoramento de poluentes moleculares atmosféricos Orion 3100S AMC é conveniente e econômico. O gabinete móvel de aço inoxidável 310 é plug-and-use e a implantação da sala limpa pode ser concluída em poucos minutos; Sem reagentes, fontes de radiação e outros consumos, dispositivos eletrônicos de estado sólido sem componentes móveis, custos de manutenção extremamente baixos e longos períodos livres de manutenção. O sistema também tem as vantagens de alarme programável independente, configuração de relé, perda de dados de corte de energia, amostragem de tubos de 80 metros de comprimento, protocolo de comunicação aberto mais fácil de desenvolvimento e integração secundária, adaptando-se aos requisitos de produção exigentes da indústria de semicondutores.

O lançamento deste sistema não só pode melhorar eficazmente a consistência da impedância dos dispositivos semicondutores, prolongar a vida útil dos filtros, reduzir o tempo de parada da produção e promover a atualização do nível de produção limpa da indústria com a tecnologia. Com muitos anos de experiência na indústria de semicondutores, a Duktec oferece uma garantia de monitoramento AMC confiável para empresas de semicondutores com tecnologia e serviço atento.