Antecedentes do projeto: os semicondutores iniciam a segunda curva de desenvolvimento

Impulsionada pela inteligência artificial geradora, a indústria de semicondutores recuperou significativamente em quase dois anos. De acordo com várias previsões, a indústria de semicondutores continuará a crescer.2030ano esperança de ruptura1Milhares de bilhões de dólares. No nosso país, diante da dura realidade de que os semicondutores estão "presos no pescoço", seu desenvolvimento é rápido e a demanda é grande. O Estado também dá alta importância ao desenvolvimento de semicondutores e continua a propor políticas de apoio.

Perfil da empresa: comprometido com a domesticação da tecnologia de semicondutores

Certas empresas de semicondutores de serviços científicos e tecnológicos de alta qualidade estão empenhadas em substituir a produção doméstica, o layout profissional do processo de carboneto de silício, após anos de acumulação de processo, atualmente formado para equipamentos de processo de gravura, equipamentos de processo de deposição de película fina e outras séries de produtos, principalmente usados ​​na fase de processo de avanço de semicondutores, como carboneto de silício, nitreto de gálio e processamento de semicondutores compostos.

Necessidades de condições de trabalho: ciclo de abastecimento superior para garantir a qualidade da produção

A empresa de semicondutores fornece aos clientes downstream equipamentos de deposição de película fina, gravação e remoção de cola para a produção e deposição de camadas de película fina sobre materiais de base para formar camadas funcionais de chips. Deposição em gás químico (CVDDurante o processo, um evaporador de mistura de gás e líquido é necessário para evaporar e misturar o material fonte líquido, formando assim uma película uniforme durante o processo de sedimentação.

A empresa de semicondutores precisa substituir uma marca estrangeira e apresentar as seguintes necessidades:
1.Ciclo de fornecimento curto e estável;
2.Garantir que o líquido evapora adequadamente;
3.Resposta rápida e saída uniforme de gás de evaporação misturada;

4.Precisão do fluxo de líquido para os padrões especificados.

Solução: curto ciclo de fornecimento para garantir a qualidade da produção

Depois de entender as necessidades, projetamos um sistema de evaporação de mistura de gás líquido para os clientes de acordo com o meio misturado e as condições de trabalho.

Sistema com misturador de evaporação controladox1Controlador de fluxo de massa de líquidosx1Controlador de fluxo de massa de gásx1Controlador de temperaturax1- É.

Figura: Produtos do misturador de evaporação controlado ACU20CEM para sistemas de evaporação de mistura de gás e líquido

A configuração do sistema é a seguinte:

Misturador de evaporação controlado:A quantidade máxima de gás é de 10 ln/min e a quantidade mínima de líquido (água) é de 120 g/h.
Controlador de fluxo de massa de líquido:Precisão ± 0,25% F.S, precisão de repetição 0,05% F.S.
Controlador de fluxo de massa de gás:Precisão ± 0,5% F.S, precisão de repetição ± 0,2% F.S.

Controlador de temperatura:Pode controlar até 200 ℃ ~ 300 ℃ de alta temperatura para satisfazer plenamente as condições de evaporação do meio especificado.

Para comunicação de parâmetros específicos, entre em contato com o gerente de produtos da página!