Apresentação do equipamento

Microscópio eletrônico de varredura + exposição de feixe de eletrões

O eletroscópio de varredura ZEISS sigma300 é usado para observar a estrutura superficial de materiais condutores nos níveis de mícrons e submicrônicos. A direção da condensação é usada principalmente para verificar a identificação de resultados de materiais como microcircuitos fabricados, condutores de onda e outros.

O eletroscópio de varredura é equipado com o software de exposição de feixe de elétrons Raith, que permite o design e a exposição de circuitos dimensionais com um campo máximo de escrita de 1000um e uma precisão máxima de 100nm.

Indicadores de desempenho: Resolução: 20nm - 10kV, Tensão de aceleração: 100V-30kV, Multiplicador de amplificação: 50-500K, Detector: Detector eletrônico secundário SE2, Detector Inlens e câmera CCD infravermelha.

Aplicação principal: aplicável à observação da superfície de materiais condutores e não condutores, para obter uma imagem eletrônica secundária da superfície.

Requisitos da amostra: amostra seca sólida não em pó, a superfície da amostra é limpa, sem poluição de óleo, sem magnetismo e não é facilmente magnetizada, a amostra não deve conter ferro (Fe), cobalto (Co), níquel (Ni). A altura é inferior a 20mm e o diâmetro é inferior a 50mm. Amostras porosas ou facilmente desmoláveis ​​são tratadas com secagem a vácuo com antecedência. As amostras devem ser condutivas. Se a amostra não for condutora, é necessário o tratamento de filmes condutores como chapado de ouro e carbono.

Nota: Artigo reproduzido na plataforma de anúncios da Faculdade de Física e Astronomia da Universidade de Xangai Jiaotong《Microscópio eletrônico de varredura & exposição de feixe de eletrões"