O eletroscópio de varredura (SEM) é um microscópio de alta resolução que usa feixes de eletrões de alta energia para varrer a superfície de uma amostra para obter informações sobre a morfologia e a composição da superfície da amostra através de sinais gerados pela interação de eletrões com matérias. Aqui está um guia completo para o SEM dos princípios às operações:

I. Princípio de funcionamento

Os componentes principais do SEM incluem uma arma eletrônica, lentes eletromagnéticas, bobinas de varredura, câmaras de amostras e detectores. A arma eletrônica emite um feixe de eletrões que, após aceleração e foco, forma um feixe de eletrões de alta energia, e a bobina de varredura controla o feixe de eletrões para varredura de raster na superfície da amostra. Depois de interagir com a amostra, o feixe de eletrões estimula sinais como eletrões secundários, eletrões de retrodispersão e raios-X característicos. Esses sinais são recebidos pelo detector e convertidos em sinais elétricos que, após amplificação e processamento de sinais, formam uma imagem da superfície da amostra no ecrã.

II. Passos operacionais

Preparação da amostra: a amostra deve ser seca, condutora e não magnética. Para amostras não condutoras, é necessário revestir com ouro ou carbonizar para aumentar a condutividade.

Inicialização e inicialização: Ligue a fonte de alimentação, inicie o sistema de vácuo e espere que o vácuo atinja os requisitos, inicie o feixe de eletrônicos e o sistema de computador.

Posicionamento da amostra: Fixe a amostra no banco de amostras e ajuste a altura e a posição do banco de amostras para garantir que a amostra esteja dentro da faixa de varredura do feixe de eletrões.

Configuração de parâmetros: Defina parâmetros como tensão de aceleração, fluxo de feixe, velocidade de varredura e multiplicador de amplificação de acordo com as características da amostra e as necessidades do teste.

Observação e ajuste de imagem: observe imagens da superfície da amostra, ajuste do brilho e do contraste, mova a mesa de amostras para localizar áreas de interesse e execute operações de foco e dispersão.

Manutenção e processamento de imagens: fotografe e salve imagens para processamento e análise de imagens, se necessário.

Desligue: desligue o feixe de eletrônicos, o sistema de vácuo e a fonte de energia na sequência do manual de operação.

Área de aplicação

O SEM é amplamente utilizado em áreas como ciência de materiais, biologia, medicina, ciências da Terra, física e engenharia para observar a morfologia da superfície de materiais, analisar a composição e estrutura, estudar a morfologia de cortes e mecanismos de falha, etc.