Filtro negativoUm dispositivo de camadas múltiplas que "deixa a luz vermelha ir, deixa a luz azul ficar" - aparentemente apenas um vidro de alguns micrômetros de espessura, mas determina a qualidade de imagem do radar a laser, do endoscópio médico e da luz do palco. Sua taxa de acabamento aumentou de 70% para 95%, e a chave não está nas máquinas de revestimento mais caras, mas no controle do processo de "calcular cada erro de camada com antecedência". Abaixo vamos falar sobre as quatro leis de ferro por trás de sua alta taxa de produtividade.A "superfície limpa" da base não está em conformidade com os padrões, todos os brancos atrás
Depois da abertura, o vidro B270 passa por 15 minutos de limpeza RCA-1 (NH4OH: H2O₂: H2O = 1: 1: 5, 75 ℃), reduzindo os resíduos orgânicos a <0,3 nm; depois de 10 minutos de bombardeio ao plasma, a superfície pode elevar-se a 72 mN · m-¹, de modo que a adesão da primeira camada de Ta₂O5 seja de 2,5 N a 5,8 N, e o subsequente assado a 200 ℃ não descale.
“Velocidade constante” é mais importante do que “alta velocidade”
A máquina de revestimento usa uma fonte de íons de radiofrequência de 6 cm, o circuito fechado PID controla a placa de cristal de 2 polegadas, pressionando a taxa de flutuação do sedimento para ± 0,2%. Tome o corte de interferência de 532 nm como exemplo, 21 camadas de membrana, espessura total de 3,8 µm, desde que a taxa se desvie de 1%, o comprimento de onda central se desvia de 2 nm e a taxa de transmissão direta cai imediatamente de 10%. A taxa foi estável e o comprimento de onda foi reduzido de ±3 nm para ±1 nm, aumentando a taxa de aprovação em 15%.
Monitoramento de valores extremos em tempo real "zero atraso" erro de reposição
Durante o processo de deposição auxiliar de feixe de íons (IAD), o espectrómetro de nível de chip captura os valores extremos de transmissão a cada 0,5 s, o algoritmo calcula a refração real da camada atual n ± 0,001 em 1 s e corrige inversamente a potência da arma eletrônica. A camada 7 descobriu que n estava 0,8% menor, e o sistema imediatamente completou a espessura de Ta₂O5 de 1,2 nm, puxando o comprimento de onda de volta ao valor projetado. Em comparação com o tradicional "revestimento completo", a taxa de refaze de uma única placa caiu de 8% para menos de 1%.
Estrutura de "sanduíche" de equilíbrio de tensão
As placas de laser de alta potência exigem um limiar de dano de 60 J·cm-2 e a tensão da camada de membrana deve estar próxima de zero. Os engenheiros alternaram Ta₂O5 (+180 MPa) e SiO₂ (-120 MPa) em uma relação de espessura de 2:3 e adicionaram uma camada de tampão de baixa tensão de MgF₂ de 20 nm na camada externa, reduzindo a tensão geral de +350 MPa para +30 MPa, 24 h de choque térmico frio (-40 ° C). ↔ Após 85 ℃) sem fissura, a taxa de aprovação do teste ambiental é de 85% a 98%.
Assim, a alta taxa de produção acabada não é "chapado rápido", mas "calculado com precisão e controle estável", eliminando cada nanométrico de erro antes que a luz entre no vidro.