Esta unidade é o Instituto de Pesquisa da Academia Chinesa de Ciências e é uma importante instituição de pesquisa e desenvolvimento no campo da tecnologia da ciência da microeletrônica e do circuito integrado da China. A principal direção de aplicação é a pesquisa relacionada com dispositivos e circuitos semicondutores compostos.

PLSINTECProduzido pela empresaO UltraShapeTMO sistema de detecção e seleção de tamanho de perfil de wafer é o sistema de detecção que pode alcançar a maior capacidade de produção do setor. A detecção do tamanho do perfil do wafer é importante no processo.

Todos os aspectos do projeto, fabricação e embalagem de semicondutores devem ser inspecionados e testados repetidamente para garantir que o processo atenda aos indicadores predefinidos e evite que os wafers não qualificados com desvios e defeitos entrem no próximo processo. Desde a validação do projeto até todo o processo de fabricação de semicondutores, os equipamentos de inspeção têm uma importância insubstituível.

O UltraShapeTMO sistema de detecção e seleção de formação de wafer usa um sensor de reflexão com dupla sonda de alta precisão e alta velocidade para realizar a medição sem contato de wafer; Combinado com módulos de movimento de alta precisão e robôs de wafer, a precisão de medição da forma de wafer atinge o nível submicrônico. O sistema é adequado para wafers de vários materiais, incluindo silício, carboneto de silício, zafiro, vidro, arseneto de gálio, nitreto de gálio, etc.; As medidas dimensionais e estruturais possíveis incluem:TTV、arco、Warp、Espessura、TIR、Sag、LTV（Mapa completotestes, etc.