O cliente, um dos líderes chang na industrialização de dispositivos de potência de carboneto de silício (SiC) na China, instalou o primeiro ThetaMetrisis FR-Scanner-AIO-Mic em 2021 e, devido ao bom uso da plataforma, o cliente comprou um segundo e um terceiro equipamento adicionais este ano (incluindo faixas de luz visível e ultravioleta).
O medidor de espessura de membrana FR-Scanner-AIO-Mic usa a interferência de luz visível na faixa de comprimentos de onda de 370-1020nm, capaz de medir a espessura da camada de membrana na faixa de 12nm-90um (lente 5X), com precisão de até 0,2% ou 2nm, com precisão de 0,02nm, é um dispositivo de medição de espessura de membrana de alto custo-benefício. As configurações de luz ultravioleta do FR-Scanner, com comprimentos de onda abaixo de 200nm, podem ser aplicadas a espessuras de camadas de membrana na faixa de 4nm-60um (lentes 5X) com precisão de até 0,1% ou 1nm. A maioria dos medidores de espessura de membrana no mercado reduz significativamente o alcance da medição de espessura de membrana do dispositivo após a adição da configuração de microscópio, mas isso não acontece com os produtos ThetaMetrisis, cuja medição de espessura de membrana ainda é ampla. Vale ressaltar que a implementação da função de medição de mapeamento multiponto é padrão da série FR-Scanner.