O ThetaMetrisis FR-Scanner é uma ferramenta compacta de medição de mesa que mapeia totalmente automaticamente a espessura do revestimento e a base para wafers, placas de máscara e outros materiais.

O FR-Scanner mede com rapidez e precisão as propriedades do filme, como espessura, coeficiente de refração, uniformidade, cromaticidade, etc. O aspirador de vácuo pode ser aplicado a amostras de qualquer diâmetro ou outra forma.