Em áreas como a fabricação de semicondutores, o desenvolvimento de filmes ópticos e a inspeção de revestimentos de precisão, a medição precisa da espessura da película e dos parâmetros ópticos é um elemento fundamental para garantir a qualidade e o desempenho dos produtos.Os medidores de espessura de película fina Thetametrisis, como a série FR-Scanner, são o equipamento padrão nesta área com o seu design de módulos ópticos altamente integrados - seus módulos ópticos não apenas acomodam todos os componentes ópticos principais, mas também permitem uma inovação completa na precisão, estabilidade e escalabilidade funcional da medição através de sinergias de precisão.

　　Composição central do módulo óptico: integração de componentes ópticos de link completo

O módulo óptico do medidor de espessura de película Thetametrisis é um "centro óptico" altamente integrado que integra componentes chave como espectrômetros, fontes de luz compostas (até 10.000 horas de vida útil) e sondas de reflexão de alta precisão. Onde, o espectrômetro é responsável por decompor a luz refletida por comprimento de onda e analisar com precisão as características espectrais; A fonte de luz composta fornece uma luz de entrada estável que cobre uma gama espectral larga de 370-1020 nm, garantindo as necessidades de medição multibanda do ultravioleta ao infravermelho próximo; A sonda de reflexão de alta precisão captura com precisão o sinal de luz refletido pela superfície da amostra e o tamanho da mancha (por exemplo, 350 μm padrão, alguns módulos podem ser reduzidos a <100 μm) pode ser ajustado de acordo com as características da amostra. Esses componentes são projetados com precisão e fixados mecanicamente para evitar erros de medição devido a deslocamentos ou vibrações de componentes ópticos discretos tradicionais, estabelecendo a base para a coleta de dados altamente repetitiva.

　　Vantagens técnicas do design integrado: melhoria sinergica da precisão, estabilidade e funcionalidade

Precisão e repetibilidade da medição: a integração de módulos ópticos reduz a perda de energia e a interferência do sinal na transmissão óptica. Por exemplo, a longa vida útil da fonte de luz composta (10.000 horas) e a saída estável, juntamente com a alta resolução do espectrômetro, tornam o erro de coleta de dados de refletidão extremamente pequeno - o material mostra que os dados de espessura de 625 pontos de medição de wafer de 8 polegadas podem ser concluídos em 60 segundos, e a precisão da espessura chega a 1 nm, a estabilidade é de 0,05 nm, a espessura mínima da medição da refração é de apenas 100 nm.

Análise sincrônica multi-parâmetro: o módulo não só suporta a medição da espessura, mas também pode obter constantes ópticas como a refração do filme (n e k), cor e outras constantes ópticas sincrônicas, e fornecer suporte a dados multidimensionais para o desenvolvimento de materiais através da função de medição dinâmica.

Expansão funcional e compatibilidade: o design integrado oferece uma interface flexível para adaptar mais de 600 parâmetros de materiais pré-preparados, suporta a análise offline e atualizações gratuitas de software, e também pode ser expandido para a medição de amostras exoticas ou wafers ultragrandes através de plataformas personalizadas, como mesas de amostras de 450 mm ou módulos de varredura X-Y.

　　Ampla cobertura de cenários de aplicação

Desde fotogravuras semicondutoras, membranas de nanoescala para estruturas de múltiplas camadas de elétricos, até revestimentos de microescala para placas de silício fotovoltaico e painéis de exibição de cristal líquido, até inspeções de qualidade industriais para filmes ópticos e revestimentos de polímeros, o design integrado do módulo óptico Thetametrisis permite que ele se adapte às necessidades de medição de materiais transparentes, semitransparentes e parcialmente opacos. Seja a pesquisa de precisão em laboratório ou a inspeção rápida da qualidade na linha de produção, este dispositivo oferece uma garantia confiável para o controle da qualidade do filme através de medições ópticas "de parada única".

O módulo óptico do medidor de espessura de película Thetametrisis, com um design altamente integrado e sinergico de precisão, redefiniu os padrões técnicos para a medição de película fina e tornou-se uma ferramenta central para impulsionar o progresso nos campos dos nanomateriais e da fabricação de precisão.