A interferência do laser refere-se ao laser como fonte de luz, com o comprimento de onda do laser ou a frequência do laser como referência, usando o princípio de interferência da luz para métodos de medição de precisão, com as vantagens de medição sem contato, alta sensibilidade e alto grau. O instrumento de interferência a laser é geralmente usado para medir o deslocamento, comprimento, ângulo, base superficial, mudança na refração da média, etc. O interferômetro comumente usado é o interferômetro de Michaelson, o interferômetro de Mach-Zede, o interferômetro de Fisco, o interferômetro de Tyman-Green, etc. A interferência a laser é um dos meios eficazes para alcançar o controle ultrapreciso e a medição em nanoescala, em muitas áreas tem um papel extremamente importante. Recentemente, com o apoio de grandes projetos nacionais de ciência e tecnologia "equipamentos de fabricação de circuitos integrados em grande escala e processos completos", o professor de longa contratação da Universidade de Tsinghua e o diretor do comitê acadêmico do departamento de instrumentos de precisão, Li Yan, concluiu o projeto "Tecnologia e instrumentos de interferência laser de alta resolução de alta velocidade e múltiplos eixos", rompeu uma série de gargalos técnicos chave e formou novos métodos, sistemas e instrumentos de medição. De acordo com o diretor Li, o projeto realizou um sistema de interferência laser de alta velocidade, grande alcance e alta resolução de múltiplos eixos, desenvolvidos por si mesmos em toda a cadeia, desde componentes de interferômetro e desregulação de detecção de sinal até o projeto de soluções de detecção de vários graus de liberdade. Atualmente, o sistema de interferômetro laser de dupla frequência desenvolvido pela equipe do projeto foi aplicado ao processo de pesquisa e desenvolvimento de prototipos de peças de trabalho de gravura fotográfica em China, com mais de 50 conjuntos de aplicações acumuladas. Os resultados da pesquisa atenderam às necessidades de medição de precisão do protótipo de dupla peça de trabalho da máquina de fotogravura, reduziram a dependência de interferômetros estrangeiros, reduziram o risco de pesquisa e desenvolvimento causado pelas restrições de exportação de seus produtos na China e desempenharam um papel positivo na implementação suave da pesquisa e desenvolvimento de dupla peça de trabalho da máquina de fotogravura na China. Além disso, o interferômetro de diferença de origem rastreável de sub-nanoresolução desenvolvido pelo projeto também foi aplicado à pesquisa e desenvolvimento de sistemas de medição multidimensional a laser. O interferômetro de variação de origem rastreável de resolução sub-nanométrica é capaz de identificar a causa dos erros não lineares do sistema de medição multidimensional do laser e corrigi-los com circuitos especializados, melhorando o desempenho do sistema de medição multidimensional do laser da unidade relevante. O novo método de medição de interferência rastreável proposto pela equipe de desenvolvimento contribuiu para redefinir a unidade de Moore usando a constante de Avogado. Vale a pena mencionar que, no passado, a China não dominou a tecnologia básica de pesquisa e desenvolvimento de instrumentos de medição de interferência a laser, mas o sucesso do projeto quebrou as restrições e o monopólio estrangeiros de nossos instrumentos de medição de interferência a laser, enriquecendo nossa teoria e tecnologia de medição de interferência a laser, o que significa que o desenvolvimento de equipamentos e instrumentos no futuro terá desempenho estável e não estará sujeito à capacidade de medição e rastreabilidade estrangeira. No geral, os resultados da pesquisa apresentam benefícios técnicos, econômicos e sociais muito importantes. A tecnologia de interferência a laser é uma maneira importante de garantir a nanomedição de origem rastreável, e também é a principal tecnologia de teste de medição do nosso país em direção a países poderosos de medição e fabricantes. Acreditamos que, com a pesquisa aprofundada da equipe de pesquisa e desenvolvimento, a tecnologia de medição de interferência a laser do nosso país continuará a melhorar, trazendo mais benefícios para o nosso país.