RIEGravadora de íons de reaçãoÉ o uso de plasma de gás molecular no sistema de vácuo para gravar, a reação química induzida por íons é usada para alcançar a gravação heterosexual, isto é, a energia iónica é usada para fazer com que a superfície da camada gravada forme uma camada de dano facilmente gravada e promova a reação química, ao mesmo tempo que os íons também podem limpar os produtos da superfície para expor o papel da superfície de gravação limpa.

　　RIEGravadora de íons de reaçãoMétodos de manutenção:

Limpe regularmente a superfície interna e externa. Limpe as câmaras de vácuo, os eletrodos, as fontes de íons e outros componentes críticos com o detergente apropriado e o pano macio.

Verifique regularmente vários parâmetros e sensores do equipamento para garantir sua precisão e precisão. A calibração inclui a inspeção e ajuste de parâmetros como energia do feixe de íons, uniformidade do feixe de íons, fluxo de gás e potência de rádio-frequência.

Durante o uso, deve prestar atenção aos componentes críticos do equipamento de proteção, como fontes de íons, eletrodos e câmaras de vácuo. Evite o uso excessivo de potência e energia excessiva do feixe de íons para evitar danos aos componentes ou desgaste prematuro. Certifique-se de usar gases e produtos químicos adequados para evitar corrosão ou danos ao equipamento.

Ao operar o equipamento, os procedimentos de operação de segurança e os manuais de operação relevantes devem ser seguidos. Use equipamentos de proteção pessoal, como óculos de segurança, luvas e roupas de proteção. Certifique-se de que a área de trabalho ao redor do equipamento é limpa e sem obstáculos, evitando o uso de acessórios e suprimentos danificados ou não qualificados.

Realizar inspeções regulares do equipamento, incluindo a verificação do estado operacional do sistema de vácuo, do sistema de abastecimento de gás, da fonte de energia de rádio e do sistema de controle. Verifique e substitua peças desgastadas ou envelhecidas para garantir o funcionamento correto do equipamento.