No campo da fabricação de micronano, como semicondutores e eletrônicos flexíveis, o estado de tensão dos materiais de película fina determina diretamente o desempenho e a vida útil do dispositivo.Testador de tensão de película in situCom a propriedade de "monitoramento em tempo real, ultra-alta precisão", torna-se o dispositivo central para capturar mudanças de estresse em micronanoescala. Ele pode detectar com precisão as flutuações de tensão da película de nanoescala durante todo o processo de preparação e serviço da película, fornecendo suporte de dados para resolver problemas de deformação e fissura do dispositivo, e é a ferramenta-chave para a transformação da fabricação de micronanométricos da "otimização da experiência" para o "regulamento preciso".

Núcleo tecnológico: o "código de percepção" do micronanostress

A capacidade de captura precisa do tester vem de duas principais tecnologias. Um é o sistema de medição de interferência óptica, usando o princípio de interferência a laser, transformando a pequena deformação da base desencadeada pela tensão da película fina em um sinal de deslocamento da faixa de interferência, através da análise de algoritmos, a resolução de tensão de 0,1 MPa pode ser alcançada, mesmo que a espessura da película seja de apenas alguns nanômetros. Segundo, o design adaptado in situ, o equipamento pode ser integrado em equipamentos de preparação de filmes finos como pulverização, vaporização e outros, coleta de dados em tempo real em ambientes de processo difíceis como vácuo, alta temperatura e outros, para evitar os erros de liberação de tensão causados ​​pela detecção offline tradicional e alcançar a integração de "preparação e detecção".

Vantagens principais: além das capacidades tradicionais de detecção de estresse

Em comparação com os métodos de teste tradicionais, o teste de tensão de película fina in situ apresenta três vantagens principais. Em primeiro lugar, a alta resolução temporal pode capturar mutações de tensão instantâneas a nível de milissegundos, como o processo de germinação de tensão no início da deposição de película fina, fornecendo uma base dinâmica para otimizar os parâmetros de formação de membrana. Em segundo lugar, o posicionamento espacial, através do foco do sistema microóptico em áreas específicas, para alcançar a detecção precisa da tensão local da película fina, resolve as limitações da medição "média" do método tradicional. Em terceiro lugar, a medição sem contato, o método de detecção a laser evita danos ao contato mecânico com a micronanopelícula, especialmente para a detecção de película de polímero frágil em eletrônicos flexíveis.

Cenário de aplicação: o "defensor da qualidade" fabricado por Micronano

O dispositivo tornou-se uma ferramenta para a fabricação de micronanométricos multidomínios. Na fabricação de chips de semicondutores, usado para monitorar o estado de tensão da superfície da película metalizada do wafer para evitar rachaduras do chip ou falhas de circuito devido à concentração de tensão; Na área de exibição flexível, a tensão do filme de embalagem OLED é regulada em tempo real para garantir a estabilidade e a vida útil do dispositivo durante a curvatura. Na indústria fotovoltaica, otimizar a correspondência de tensão entre camadas de pilhas de película fina para melhorar a eficiência da conversão fotoelétrica; Na área aeroespacial, a distribuição de tensão das películas revestidas de naves espaciais é detectada para garantir o desempenho de proteção em ambientes difíceis.

À medida que a tecnologia de fabricação nanométrica se desenvolve para "menor e mais fino",Testador de tensão de película in situO papel é cada vez mais evidente. Ele não só pode capturar com precisão as mudanças de tensão na escala de nanometros, mas também pode otimizar os parâmetros de processo em ciclo fechado através de feedback de dados, aumentando a taxa de aprovação de dispositivos de película fina em mais de 30%. Como "captador de tensão" no campo da fabricação de micronanométricos, ele fornece uma sólida garantia técnica para a pesquisa e desenvolvimento de dispositivos e produção em massa, promovendo o desenvolvimento da indústria de fabricação de micronanométricos na China na direção de alta qualidade.