Contrômetro de superfície 3DÉ um instrumento de medição de precisão para medir a forma tridimensional da superfície de objetos de alta precisão, amplamente utilizado em eletrônica, automóvel, semicondutores, ciência de materiais e inspeção industrial.

　　Contrômetro de superfície 3DO desempenho é determinado pelos parâmetros técnicos chave, os requisitos dos parâmetros de diferentes cenários de aplicação diferem significativamente, na escolha da compra deve se concentrar nos seguintes indicadores:

1.Âmbito de medição:

Inclui a faixa horizontal (eixo X/Y, que determina o tamanho * grande da amostra mensurável) e a faixa longitudinal (eixo Z, que determina a diferença de altura * grande da superfície mensurável).

2 - Resolução:

Resolução vertical: a capacidade de medir a diferença de altura mínima da superfície é o indicador principal;

Resolução horizontal: mede a capacidade de distinguir pequenas características horizontales da superfície, relacionadas com a magnificação da lente do sistema óptico e os pixels do detector.

Precisão da medição:

Refere-se ao desvio entre o resultado da medição e o valor real, geralmente incluindo o erro linear (a linearidade do deslocamento do eixo Z), o erro repetitivo (o desvio da mesma posição em várias medições), o erro de plano (o desvio da medição do plano de calibração).

4) Velocidade de medição:

Dependendo do modo de varredura (varredura ponto a ponto, varredura linhar, varredura superficial) e da eficiência do processamento de dados:

Projeção de luz estrutural: varredura facial, velocidade * rápida (nível de milissegundos, adequado para detecção on-line);

Microscópio de força atômica: varredura ponto a ponto, velocidade * lenta (nível de minutos, adequado para análise de precisão offline);

Interferômetro de luz branca: varredura linear, velocidade média (segundos a minutos, com precisão e eficiência).

Compatibilidade da amostra:

Inclui o material da amostra (metal, não-metal, transparente / opaco, condutivo / isolante), o tamanho (se é adequado para a mesa de amostras), o estado da superfície (liso / áspero, seco / úmido).