O vazamento de vácuo é um problema central que afeta a estabilidade da máquina de limpeza de plasma e seu posicionamento deve ser avaliado integralmente em combinação com o método de detecção e as características do equipamento:

Espectroscopia de massa de hélio

Aplicável a sistemas de alto vácuo (por exemplo, câmaras de bombas moleculares) que varreduram as interfaces de flanges, janelas de observação, válvulas eletromagnéticas e outras partes com detectores de vazamento, carregando hélio de 0,1 MPa na câmara. Se um vazamento de hélio for detectado, é necessário fixar o parafuso ou substituir o anel O de borracha fluorada (por exemplo, vedação da bomba de vácuo Pfeiffer). Por exemplo, um dispositivo devido ao envelhecimento do anel de vedação da porta de isolamento da câmara de vácuo, o vácuo não pode atingir 1 x 10-3 Pa, após a substituição.

Teste de redução de pressão

Para sistemas de vácuo médio e baixo (por exemplo, câmaras de bombas mecânicas), o aumento da pressão é registrado dentro de 1 hora após o desligamento da bomba de vácuo. Se a taxa de elevação é > 0,5 Pa / h, é necessário verificar a calibração do regulador de vácuo ou a contaminação da parede da cavidade. Em alguns casos, devido à adsorção de matérias orgânicas nas paredes internas da cavidade, resultando em vazamentos virtuais, a taxa de aumento da pressão caiu para 0,2 Pa / h após a limpeza ao plasma.

Análise do sinal de vibração

Localizar o ponto de vazamento através da captação de sinais vibratórios durante a operação da bomba de vácuo, que são decompostos em diferentes componentes de frequência. Por exemplo, um dispositivo produz um sinal de vibração de 120 Hz devido ao soltamento do tubo de conexão da válvula de vácuo, que elimina o vazamento após a fixação.

Análise das causas da falha da ignição de plasma

A falha da ignição do plasma é geralmente causada por uma anormalidade na fonte de energia, na via de ar ou no sistema de correspondência e deve ser resolvida de acordo com a seguinte lógica:

Falha de energia de RF

Sem potência de saída: testar a fonte de RF com uma carga falsa de 50Ω, se a indicação de potência for zero, é necessário reparar o módulo de RF (por exemplo, substituir o tubo IGBT); Se a indicação for correta, verifique se o cabo de RF está em curto-circuito ou contaminado pela cavidade.

Poder de reflexão muito grande: ajustar a posição da lâmina de capacitor da rede para que a potência de reflexão seja < 5% da potência de entrada. Em alguns casos, devido ao desvio inicial do capacitor do correspondente, resultando em uma potência de reflexão de até 30%, a ignição foi bem sucedida após a recalibração.

Anomalias no sistema de vias de ar

Pressão insuficiente: verifique se a pressão da fonte de ar está na faixa de 0,4-0,6 MPa e ajuste a válvula de redução de pressão para que o valor do medidor de fluxo corresponda aos requisitos do processo. Por exemplo, um dispositivo devido à pressão Ar muito baixa (0,2 MPa), o plasma não pode ser mantido e recuperado após ajuste.

Bloqueio de vias de ar: desmontar o disco de pulverização de gás, soprar os orifícios com ar comprimido para remover os resíduos de polímeros. Em alguns casos, devido ao bloqueio do buraco de pulverização, a distribuição do gás é desigual e a estabilidade da ignição melhora após a limpeza.

Eletrodos e sistemas de correspondência

Poluição do eletrodo: Polir a camada de óxido da superfície do eletrodo com papel de lixa ou substituir um novo eletrodo (por exemplo, a vida útil do eletrodo de substância de alumínio é de cerca de 2.000 horas).

Falha de arco de alta frequência: verifique a distância do descargador de faísca (valor padrão de 0,5 mm), se a distância for muito grande, deve ser ajustada; Se a barra negra estiver queimada, é necessário substituí-la (por exemplo, um dispositivo devido à distância da barra negra de 1 mm, o que resulta em uma alta frequência que não pode ser arqueada, após ajuste).

Casos de diagnóstico integrado

Uma máquina de limpeza de plasma a vácuo apareceu "sem saída de plasma" alarme, após a verificação descobriu:

Vacuum leakage: teste de depressão de pressão mostra a taxa de aumento de 0,8 Pa / h, localização de vazamento de hélio para o envelhecimento do anel de vedação da flange da bomba molecular, o vácuo é recuperado após a substituição.

Anormalidade de correspondência de RF: potência de reflexão de até 15%, após ajustar as lâminas capacitivas da rede para 3%.

Poluição do eletrodo: a superfície do eletrodo superior é coberta por polímero preto e a densidade do plasma aumenta em 40% depois de polido com papel de lixo.

Através de uma análise sistemática, o equipamento restabeleceu uma operação estável e verificou a eficácia da estratégia de diagnóstico tridimensional "Vacuum-Power-Gas Path".