Este artigo descreve a análise de vários elementos de impureza em amostras de areia de quartzo de alta pureza com o espectrómetro de emissão de plasma acoplado por indução Perkin Elmer Avio 200 (ICP-OES) e verificou sistematicamente o método. Os resultados mostram que o método tem excelente precisão e boa precisão, e os valores resultantes de duas amostras atendem aos requisitos de valor limite para 13 elementos de impureza na norma GB / T 32649-2016 de areia de quartzo de alta pureza para uso fotovoltaico, permitindo assim a determinação precisa de elementos em traços em amostras de areia de quartzo de alta pureza.