Em áreas industriais avançadas como a fabricação de semicondutores, embalagens fotoeletrônicas e testes de precisão, a precisão e o alcance do controle de temperatura afetam diretamente a eficiência e o desempenho dos produtos.O dispositivo de controle de temperatura de semicondutores do chiller é o principal dispositivo de controle de temperatura, capaz de alcançar a capacidade de controle de temperatura limite de refrigeração direta de alta temperatura de 300 ° C a -150 ° C, fornecendo soluções de controle de temperatura estáveis e precisas para o processo de semicondutores, testes de materiais, experimentos de impacto de alta e baixa temperatura, etc.

　　Tecnologia básica do dispositivo de controle de temperatura de semicondutores do chiller

O chiller (sistema de circulação de refrigeração) usa a troca de calor de refrigeração do compressor + líquido circulante, através de um algoritmo de controle de temperatura de alta precisão, para alcançar uma temperatura de refrigeração rápida e uma precisão de controle de temperatura de ± 0,1 ℃. As principais vantagens incluem:

　　1. ampla cobertura de temperatura (-150 ℃ ~ 300 ℃)

Parte de alta temperatura (300 ℃): aplicável ao processo de alta temperatura, como a recolha de semicondutores, sinterização de materiais, através da circulação de óleo condutor de calor ou solução de álcool etílico, para garantir a estabilidade de alta temperatura.

② Segmento de baixa temperatura (-150 ℃): Adote a tecnologia de refrigeração superposta ou refrigeração direta (evaporação direta de refrigerante para troca de calor), para alcançar um ambiente de temperatura ultra-baixa, para atender às necessidades de teste de baixa temperatura de chips semicondutores, fabricação de detectores de infravermelhos e outras necessidades.

　　Capacidade de mudança rápida de temperatura

Alguns equipamentos de chiller podem completar a mudança de temperatura de -55 ℃ ~ 150 ℃ em 10 segundos, adequado para testes de confiabilidade do chip, análise de tensão térmica do material e outros cenários.

② Compressor de conversor de frequência + válvula de expansão eletrônica, ajustar dinamicamente a quantidade de refrigeração para garantir a velocidade de resposta de controle de temperatura.

　　Controle de temperatura de alta precisão (0,5 ℃)

① A fabricação de semicondutores requer uma precisão de controle de temperatura de ± 0,1 ℃, o Chiller fornece feedback em tempo real através do algoritmo de controle PID + PT100 / sensor de termopar para garantir a estabilidade do processo.

② Alguns equipamentos suportam o controle de temperatura independente de vários canais, que podem controlar simultaneamente a temperatura de diferentes câmaras de processo, sem interferir uns com os outros.

　　II. Aplicações típicas

　　1. Fabricação de semicondutores

1 Gravador de luz: controle da fonte de luz e da temperatura da lente (± 0,05 ° C), para evitar que a deformação térmica afete a precisão da exposição.

② Gravação / sedimentação: ajustar a temperatura da cavidade de reação para garantir a uniformidade da película fina.

Teste do chip: simular o ambiente de ampla temperatura de -40 ℃ ~ 150 ℃ para verificar a confiabilidade do chip.

　　Optoelectrônica e dispositivos de precisão

① Laser, fibra óptica: teste de ciclo de alta e baixa temperatura para garantir a estabilidade do material.

② Embalagem 3D: controle da temperatura de refluxo da solda para otimizar a qualidade da solda.

3. Ciência dos materiais

① Materiais supercondutores, dispositivos quânticos: -150 ℃ ~ 300 ℃ controle de temperatura, estudar as mudanças de desempenho do material em diferentes temperaturas.

　　Tendências futuras

À medida que o processo de semicondutores evolui para processos menores e maior integração, a tecnologia de controle de temperatura do Chiller evoluirá em direção a mais precisão, mudanças de temperatura mais rápidas e intervalos de temperatura mais amplos, levando a fabricação avançada a novos níveis.

O dispositivo de controle de temperatura de semicondutores de chiller, com suas vantagens de capacidade de controle de temperatura extrema, alta precisão e resposta rápida, tornou-se um equipamento crítico para a indústria moderna, fornecendo uma garantia de controle de temperatura confiável para semicondutores, fotoeletricidade e ciência de materiais.