Em áreas de ponta como a optoeletrônica, a tecnologia de imagem e a inteligência artificial,Processo de processamento de matrizes de microlentesExigições exigentes, relativas ao desempenho superior e à expansão da aplicação, abaixo são analisados os pontos-chave de vários aspectos.
A seleção de materiais é fundamental, tendo em conta as propriedades ópticas e a estabilidade mecânica. Quartzo com ultra-alta taxa de transmissão, baixo fator de temperatura de refração, torna-se a opção ideal para a banda ultravioleta ao infravermelho próximo, pode focar a luz com precisão e reduzir a interferência da diferença de cor; O polimetil acrílico de metilo (PMMA) é adaptado a imagens infravermelhas e cenários de demanda de peso leve devido à sua boa plasticidade, peso leve e taxa de refração moderada para a preparação em massa. Após a seleção do material, a pureza é rigorosamente controlada e as microimpurezas podem espalhar a luz e reduzir a uniformidade da matriz.
Controle de precisão durante todo o processo de usinagem, a tolerância de tamanho é quase "millimétrica". O desvio do diâmetro de uma única microlente deve ser controlado em nível submicrônico para garantir que a matriz esteja bem disposta e com uma distância uniforme, caso contrário, a distorção da via óptica, a distorção da imagem ou a eficiência do acoplamento cairão abruptamente; A rugosidade da superfície também requer até o nível nanométrico, a superfície lisa garante a refração da luz, o reflexo segue a trajetória do projeto e reduz a perda de dispersão, o que representa um grande desafio para a resolução do equipamento de processamento e a estabilidade do processo.

Enlace de processo anel anel, a tecnologia de fotografia utiliza a fotografia ultravioleta profunda, transferindo o padrão de projeto com precisão para a base, a resolução pode ser inferior a 100 nanômetros, delineando o contorno do protótipo da microlente; Em seguida, o relé do processo de gravação, a gravação seca é bem contrastada, pode gravar verticalmente o material, garantindo que a parede lateral da lente seja reta, e a gravação úmida depende da corrosão seletiva de soluções químicas, suavizando as bordas ou ajustando a curvatura, ambos combinados para esculpir a forma de superfície curva ideal. A moldagem a quente também é fundamental para controlar com precisão a temperatura e o tempo, permitindo que o material flua em estado sólido para remodelar, corrigir erros de curvatura e moldar superfícies ópticas de alta precisão.
Detecção de microscópio de força atômica de ligação de varredura de toque, desenhar o contorno da superfície tridimensional, quantificar a rugosidade, raio de curvatura; O sistema de detecção óptica simula o caminho óptico real, projeta luz paralela, analisa o foco, os efeitos de difração e dá feedback em tempo real sobre defeitos de processamento para que o forno possa ser retocado em tempo útil. Da seleção de materiais à elaboração fina e à inspeção rigorosa, o processamento de matrizes de microlentes permite que a tecnologia avance para dimensões de desempenho mais elevadas.