Qingdao Qishan lançou recentemente vários produtos de medidores de fluxo de massa de gás e controladores de fluxo de massa, com sucesso a tecnologia de núcleo de cadeia completa de chips MEMS para instrumentos e algoritmos de detecção de fluxo, tornando-se uma das poucas empresas de alta tecnologia da cidade de Qingdao que dominam a tecnologia de chips MEMS.

Com a atenção e o apoio do Estado aos instrumentos e equipamentos semicondutores domésticos, a indústria de instrumentos analíticos domésticos e a indústria de equipamentos semicondutores alcançaram um rápido desenvolvimento. Como um componente central de instrumentos analíticos e equipamentos de semicondutores, o medidor de fluxo de massa de gás / controlador ainda é importado, e a necessidade de substituição doméstica é urgente. Ao contrário dos medidores de fluxo volumétricos tradicionais de pressão diferencial, rua turbulenta e outros princípios, o medidor de fluxo de massa de gás MEMS mede com alta precisão o fluxo de massa de gás com base no princípio de condução térmica, e este tipo de produto não é afetado por parâmetros ambientais como temperatura e pressão.

Controlador de fluxo de massa de gás da série S500Com * design de canal de gás, pode alcançar uma configuração flexível de relação de desvio, cobertura de alcance de 1sccm ~ 120slm, precisão mínima de controle de 0,1sccm, 0 ~ 50 ° C variação de temperatura é apenas 0,4 ~ 0,6%. Em termos de sinalização elétrica, uma variedade de controles digitais e analógicos é oferecida e equipada com ecrãs de classe industrial para facilitar a depuração e configuração no local do cliente.