Recentemente, Qingdao Qishan Weinan Electronics Technology Co., Ltd.(abreviado como "Qingdao Qishan") fez um grande avanço no controlador de fluxo de massa de gás (Mass Flow Controller, MFC), superou as principais barreiras técnicas que há muito impedem o desenvolvimento de MFC de nível semicondutor doméstico e desenvolveu com sucesso dois produtos de MFC de nível semicondutor baseados em válvulas proporcionais piezoelétricas de alta velocidade, com boa precisão, confiabilidade e estabilidade 5 vezes superior aos produtos existentes.

　　Por que desenvolver semicondutoresO MFC?

MFC， O controlador de fluxo de massa é um instrumento de precisão capaz de medir e controlar com precisão o fluxo de massa de fluidos e é uma unidade funcional essencial para garantir a precisão do processo e a consistência do produto. O MFC atua em todas as etapas do processo de semicondutores.importantepapel, por exemplo, no processo (gravação, revestimento, etc.), para monitorar ou ajustar em tempo real o fluxo de vários componentes da mistura de gás e o nível de vácuo do equipamento para garantir a proporção precisa da mistura de gás; Na sequência de limpeza de materiais, para controlar o fluxo de nitrogênio durante o processo, para garantir o efeito de limpeza e secagem; Em infraestruturas como salas ultra-limpas, é usado para um controle estável a longo prazo da limpeza do gás ambiental e da velocidade do vento. Para garantir a estabilidade do processo de fabricação de semicondutores e a qualidade do produto, os produtos MFC geralmente exigem alta precisão, alta estabilidade, alta confiabilidade e capacidade de resposta rápida.

Nos últimos anos, o JapãoHoriba、 Empresas como a Brooks dos Estados Unidos lançaram sucessivamente válvulas proporcionais de cerâmica piezoelétrica e produtos MFC de nível semicondutor baseados em válvulas proporcionais piezoelétricas, melhorando a velocidade de resposta ao mesmo tempo que reduzindo drasticamente a degradação do desempenho, aquecimento e vazamento de gás no uso a longo prazo. Embora algumas empresas domésticas tenham alcançado um bom desenvolvimento, seus produtos ainda usam a tecnologia de válvulas proporcionais eletromagnéticas tradicionais, a força do produto é insuficiente para atender às necessidades da indústria de semicondutores de alta precisão, alta confiabilidade e resposta rápida. Recentemente, a tecnologia de medição de fluxo piezoelétrica de alta qualidade de alta confiabilidade e resposta rápida foi monopolizada no exterior, com preços elevados e risco de corte de fornecimento em qualquer momento, levando a uma ameaça à segurança de componentes essenciais em equipamentos semicondutores importantes do país.

Durante os seis anos da guerra comercial sino-americana, a indústria de semicondutores da China alcançou um rápido desenvolvimento através de medidas como intensificar a inovação independente, promover o desenvolvimento sinergico da cadeia industrial, participar ativamente da cooperação internacional e obter apoio político e investimentos financeiros. Ao mesmo tempo, com o aumento do processo de fabricação de semicondutores e a demanda do mercado,A demanda de domesticação da MFC também aumentará. Portanto, o desenvolvimento de MFC de nível semicondutor e a promoção da domesticação desse componente central são essenciais para garantir a segurança da cadeia industrial nacional de semicondutores.

　Estrutura interna do S700

　　Geometria da força de Qingdao?

Qingdao Qishan se concentra emTecnologia de medição de fluxo de gás, o objetivo éBomfornecedores de peças de semicondutores. A equipa principal da empresa vem de CingapuraA*STAR、 Alemanha KIT, Universidade Tsinghua, Academia de Ciências Chinesas, Universidade de Tongji, Universidade de Shandong e outras principais instituições de pesquisa científica nacionais e estrangeiras, dominar o núcleo de sensor de fluxo de chips, módulos, algoritmos, integração de sistemas e outras tecnologias autônomas de núcleo de cadeia completa. Atualmente, a empresa possui 23 invenções, 14 novos modelos úteis e mais de 50 certificados de medição de nível 1; Implementar 2 programas de pesquisa e desenvolvimento do Ministério da Ciência e Tecnologia e 1 programa de pesquisa e desenvolvimento da província de Shandong (grandes projetos de inovação científica e tecnológica); Construído com "Laboratório Conjunto de Medição e Controle de Sensores da Universidade de Qingdao Qishan-Shandong", "Laboratório-chave de Tecnologia de Medição e Controle de Fluxo de Gás da Cidade de Qingdao", "Estação de Trabalho de Especialistas em Tecnologia de Medição e Controle de Fluxo de Gás da Cidade de Qingdao", e tem uma oficina de pesquisa e desenvolvimento de 800 metros quadrados, uma oficina de fabricação de 4000 metros quadrados e mais de 100 equipamentos de calibração de fluxo; Certificações de gestão de qualidade e fabricação IS09001 e IS014001.

A estabilidade do mercado depende de uma forte garantia da qualidade dos produtos. Após muitos anos de trabalho, Qingdao Core Sheng foi formadoA série S300, a série UT, a série E e outras linhas de produtos maduros e estáveis ​​alcançaram a substituição doméstica em muitas áreas como fotovoltaica, proteção ambiental e médica e receberam o reconhecimento unanime do mercado. Hoje, dois produtos de medidor de fluxo específicos para semicondutores S700 e DF500 foram adicionados, começando o layout do mercado de semicondutores. Falando sobre as vantagens da empresa e dos produtos, o fundador da empresa, Dr. Tao Jiefang, disse: "Como uma empresa de sensores local, as vantagens da Qingdao Qishan incluem principalmente três pontos: em primeiro lugar, nossa equipe é excelente o suficiente, todos têm excelentes habilidades e experiência rica; em segundo lugar, temos um bom ambiente ecológico, a entrega de garantia de qualidade dos produtos não pode ser separada do forte apoio dos parceiros de alta linha, e os clientes de baixa linha mantêm uma estreita cooperação; Finalmente, a Qingdao Qishan Company tem mantido investimentos de alta intensidade em pesquisa e desenvolvimento e fabricação, investimentos em pesquisa e desenvolvimento nos permitem manter a tecnologia.AvançadoA produção garante a qualidade dos nossos produtos. Não estar no mercado de baixa gama é a chave para nossa ruptura", acrescentou o Dr. Tao Jiefang.

　　Novos produtos serão apresentadosExposição de Semicondutores e Componentes Coreais 2024

　　"Isso ainda não é suficiente", falando sobre os novos produtos de MFC de classe semicondutor da empresa, o Dr. Lin, chefe do Centro de Pesquisa e Desenvolvimento da Qingdao Qishan Company, disse: "Embora a empresa tenha ocupado um lugar no mercado fotovoltaico e tenha obtido pedidos estáveis, nossa capacidade e objetivos são mais do que isso, vamos atacar os componentes principais de equipamentos de semicondutores um por um, e desta vez o S700 e o DF500 são um grande avanço".

Ambos os produtos recém-desenvolvidos de Qingdao Coreson usam tecnologia de válvula proporcional piezoelétrica de alta velocidade e tecnologia de compensação de flutuação de pressão dinâmica."A válvula proporcional piezoelétrica é o principal componente de controle no MFC, que forma um anel fechado com o sensor de fluxo para alcançar um ajuste dinâmico e rápido do fluxo de gás", disse o Dr. Lam. "Em comparação com a válvula proporcional eletromagnética atual, a válvula proporcional piezoelétrica responde rapidamente, tem alta precisão de controle e um consumo de energia e ruído térmico extremamente baixos.

Para atender às diferentes necessidades de aplicação, esta vez Qingdao Qishan desenvolveu dois produtos diferentes, a diferença é a seguinte:

O foco dos dois produtos é ligeiramente diferente, em que,DF500 tem maior vantagem em termos de precisão e tempo de resposta no controle de fluxo pequeno, adequado para processos avançados de 7nm / 14nm; O S700 tem uma gama mais ampla de opções e temperaturas de funcionamento, adequadas para processos gerais. "Ambos os produtos utilizam os mais recentes algoritmos de controle dinâmico adaptativo desenvolvidos pela empresa, permitindo que os clientes escolham de acordo com as necessidades reais. Ambos os MFCs utilizam materiais duplos-V de classe semicondutor e tratamento EP para cumprir os requisitos da SEMI", disse o Dr. Lam. "Ambos os produtos serão apresentados na exposição de equipamentos semicondutores e componentes principais no dia 25 de setembro, e os novos e antigos clientes serão bem-vindos para se comunicarem".

　　Resumo:

Em nível semicondutorNa pista do MFC, a investigação chinesa começou tarde, a tecnologia e os produtos estão sujeitos aos países ocidentais, ameaçando seriamente a integridade e a segurança da cadeia da indústria de semicondutores do país. Atualmente, Qingdao Qishan completou o quebra-cabeça de 0 a 1, e a seguir é como melhor conseguir o salto de 1 a 100. A ascensão de fabricantes domésticos, como Qingdao Qishan, não só representa o aumento do nível tecnológico doméstico, mas também indica que o nosso país terá uma maior competitividade no campo global de alta tecnologia.