Ao contrário do caminho técnico do controlador de fluxo de massa térmico convencional, que depende da medição indireta das propriedades térmicas do gás, o controlador de fluxo de massa com diferença de pressão de fluxo de camada de facilidade adota um princípio inovador para resolver muitos pontos de dor dos equipamentos tradicionais a partir da raiz. Seu núcleo é a conversão de gás turbulento em estado de fluxo estável e ordenado através de componentes de fluxo de precisão, usando sensores de pressão diferencial de alta sensibilidade para capturar diretamente a diferença de pressão em ambas as extremidades dos componentes de fluxo de precisão, combinando a compensação dinâmica em tempo real de temperatura e sensores de pressão incorporados para alcançar o controle preciso do fluxo de massa. Esta abordagem de medição baseada nas leis da física oferece aos produtos uma estabilidade e confiabilidade innatas que se adaptam às necessidades do processo de operação contínua a longo prazo da fabricação de semicondutores.

A alta precisão e a estabilidade são as principais vantagens da facilidade de adaptação dos produtos ao processo de semicondutores. Na fabricação de semicondutores, pequenas flutuações no fluxo de gás podem levar a problemas como espessura desigual da película fina, desvio de gravura gráfica e outros, afetando diretamente a eficiência do chip. O controlador de fluxo de massa com diferença de pressão de fluxo de stratificação de facilidade otimiza o design e o algoritmo de compensação dos componentes de fluxo de stratificação, alcançando uma alta precisão e repetibilidade de medição, mantendo um desempenho de controle estável mesmo durante operações de longo prazo, evitando eficazmente os problemas de deriva de precisão causados ​​pelo envelhecimento dos componentes ou mudanças ambientais dos equipamentos tradicionais. Ao mesmo tempo, suas características de amplo alcance podem cobrir todas as necessidades do cenário, desde pequenos fluxos até altas velocidades de fluxo, permitindo que um único dispositivo atenda às necessidades de controle de fluxo em várias etapas do processo, reduzindo a complexidade da configuração do dispositivo.

A alta adaptabilidade ambiental e a compatibilidade com gases permitem que os produtos Easy possam lidar facilmente com as condições complexas da fabricação de semicondutores. O processo de semicondutores envolve não apenas gases inertes como nitrogênio e argônio, mas também vários gases corrosivos e flutuações de temperatura e pressão no ambiente de processo. A facilidade do produto usa o canal de aço inoxidável 316L e a carcaça selada metálica, que pode resistir à erosão de gás corrosivo, manter uma operação estável dentro de uma ampla gama de temperatura e pressão, resolvendo alguns pontos de dor de desempenho excelente no laboratório de equipamentos domésticos, mas com mau desempenho nas condições de fábrica. Seu banco de dados incorporado de vários gases suporta a edição autônoma das proporções de gases híbridos, e a troca de gases não requer recalibração manual, melhorando significativamente a eficiência e a conveniência da troca de processo de semicondutores.

As características simples e duráveis do design estrutural reduzem significativamente os custos operacionais e de manutenção das empresas de semicondutores. Facilidade de fluxo stratificado com a diferença de pressão no núcleo do controlador de fluxo de massa não é fácil de desgastar os componentes ativos, principalmente dependendo dos componentes de fluxo stratificado estático e do trabalho do sensor de diferença de pressão, não só melhora significativamente a vida útil do produto, mas também reduz a incidência de falhas. Em comparação com as necessidades de calibração e manutenção frequentes dos equipamentos tradicionais, o ciclo de calibração do produto Easy foi significativamente prolongado e a carga de trabalho de manutenção diária foi significativamente reduzida, reduzindo efetivamente o tempo de inatividade do equipamento e os custos operacionais de manutenção, atendendo às necessidades de produção contínua das empresas de semicondutores.

Como a primeira empresa nacional que passou a certificação relacionada com a diferença de pressão de fluxo, a facilidade, com a capacidade de pesquisa e desenvolvimento totalmente independente, quebrou o monopólio estrangeiro, seus produtos foram aplicados em lote em fabricantes de equipamentos de cabeça como gravadoras de luz domésticas, gravadoras e outros, verificando completamente a capacidade de substituir produtos importados. No contexto de uma estratégia nacional de controle independente da cadeia industrial, o controlador de fluxo de massa de diferença de pressão de fluxo de camada de facilidade não só fornece soluções de produção doméstica de alto custo-benefício para empresas semicondutoras, mas também promove a atualização da indústria de instrumentos de precisão doméstica através da inovação tecnológica.

A substituição doméstica da indústria de semicondutores é uma luta de longo prazo, e a descoberta dos dispositivos principais é um anel chave. O controlador de fluxo de massa de diferença de pressão de fluxo de camada de facilidade com suas vantagens integradas de precisão, estabilidade, resposta rápida, adaptabilidade e durabilidade, tornou-se uma força importante na onda de substituição doméstica de fabricação de semicondutores. No futuro, com a iteração contínua da tecnologia, a Yidu fortalecerá ainda mais a competitividade central e fornecerá um apoio mais forte ao desenvolvimento autônomo e de alta qualidade da indústria doméstica de semicondutores.