A indústria de semicondutores é baseada em materiais semicondutores como o silício e abrange áreas como circuitos integrados, dispositivos fotoelétricos e outros, dos quais os circuitos integrados representam mais de 80%. A indústria exige água ultra-pura, a qualidade da água afeta diretamente a qualidade e o desempenho da produção, e o monitoramento da água ultra-pura torna-se um ponto-chave.
Os padrões atuais de água ultrapura para semicondutores superam muito os requisitos mais altos nacionais de água eletrônica, e os principais indicadores incluem: a resistência precisa ser superior a 18,2 mega-euros (25 ° C) para garantir que o conteúdo de íons seja extremamente baixo; O TOC (carbono orgânico total) é controlado abaixo de 0,5 ppb para evitar afetar a precisão da fotografia; não exceder 100 partículas por litro com maior do que 0,05 micrão; O oxigênio dissolvido deve ser inferior a 1ppb para evitar a oxidação de íons metálicos.
A água ultrapura é usada em todos os processos de produção como lavagem de wafer, processo de fotogravura, resfriamento por gravura e polimento mecânico, além de ser usada para resfriamento de equipamentos e desenvolvimento de laboratório. No método de monitoramento, as micropartículas são detectadas com contadores de partículas líquidas, TOC、 A resistência, o oxigênio dissolvido, etc. são monitorados em tempo real por meio de instrumentos eletroquímicos on-line, combinados com sistemas integrados para a gestão dinâmica da qualidade da água.
O ciclo de monitoramento depende das necessidades de produção e das mudanças na qualidade da água e requer análises de amostragem periódicas. A água ultrapura é tratada em múltiplos estágios pela água da torneira através de ACF, UF, RO, EDI, etc., para reduzir o TOC abaixo de 1ppb através de um dispositivo de lâmpada TOC-UV.
À medida que o tamanho dos componentes semicondutores diminui e a precisão aumenta, os requisitos de qualidade da água aumentam constantemente. A indústria está enfrentando desafios mais exigentes através da melhoria da precisão da inspeção e da aplicação de novas tecnologias, como monitoramento remoto, para reduzir as perdas de produção devido a problemas de qualidade da água e garantir a eficiência dos produtos.