O espessurômetro de película óptica diferencial é um instrumento de medição óptica de alta precisão, usado principalmente para medir de forma não destrutiva e sem contato a espessura de filmes finas, chips, materiais ópticos e camadas múltiplas e analisar suas constantes ópticas (como a refração, o fator de extinção de luz). Princípios de interferência e espectroscopia baseados na luz. Quando a luz atinge a superfície da película, ela é refletida várias vezes entre a superfície frontal e posterior da película, formando uma faixa de interferência. Essas faixas de interferência são divididas em espectros de diferentes comprimentos de onda por meio de espectroscopia e a distribuição de intensidade é medida, e os algoritmos relacionados são usados para calcular a espessura do filme, a taxa de refração e outros parâmetros.
O espessurômetro de membrana diferencial de microespectrometria mede a refletidão absoluta em pequenas áreas. Quando a luz é irradiada na superfície da película fina, ocorre o fenômeno de reflexão e transmissão, e a luz é refletida várias vezes na superfície diante e atrás da película fina para formar uma faixa de interferência. A técnica de espectroscopia divide essas faixas de interferência em espectros de diferentes comprimentos de onda e mede sua distribuição de intensidade para calcular parâmetros como a espessura, a taxa de refração (n) e o fator de dissipação (k) da película fina.
Características
Medição de alta precisão: o uso de algoritmos de precisão para medir a espessura da membrana em sub-nanoescala garante a precisão e confiabilidade dos resultados. Para atender às necessidades de medição de filmes de espessura diferente.
Medição sem contato: não é necessário contato direto com a amostra durante o processo de medição, evitando danos causados por forças externas na amostra e protegendo a integridade da amostra. Adequado para medições de materiais de película fina valiosos ou frágeis, como wafers semicondutores, revestimentos ópticos.
Medição rápida e exibição em tempo real: tempo de medição de até 1 segundo/ponto, suporte a digitalização automática de alta velocidade para melhorar a eficiência da detecção. Os dados de espessura da membrana são exibidos em tempo real para uma análise rápida.
Ampla gama de comprimentos de onda e análise de membrana multicamada: o sistema óptico cobre a faixa ultravioleta ao infravermelho próximo (por exemplo, 230-1600 nm) para se adaptar às propriedades espectrais de diferentes materiais. Apoia a análise de estruturas de camadas múltiplas para medir simultaneamente a espessura e a constante óptica de camadas múltiplas.
Design fácil de usar: com um assistente de software fácil de analisar, o usuário inicial pode concluir rapidamente a análise de constantes ópticas. Cabeças de medição independentes suportam necessidades personalizadas para cenários de monitoramento on-line em diferentes linhas de produção.