Preparação antes da operação (5 minutos, segurança em primeiro lugar)

Verificação de segurança:

Verifique que o instrumento está bem aterrizado (para evitar vazamentos) e que a tensão de alimentação atende aos requisitos nominais (por exemplo, AC220V ± 10%);

Verifique se os tubos de gás (por exemplo, argônio, oxigênio, nitrogênio) estão bem ligados e não têm vazamentos (podem ser detectados na junção com água de sabão, sem bolhas);

Abra o armário de ventilação (se estiver lidando com amostras voláteis) ou o dispositivo de escape para evitar a poluição do ambiente por pequenas quantidades de gás resultantes da reação ao plasma.

Preparação da amostra:

Limpar com antecedência grandes partes de impurezas (como poeira, óleo) na superfície da amostra a ser limpa (como chips, vidro, plástico, peças metálicas) (secar com etanol sem água), para evitar que as impurezas afetem o efeito de limpeza;

Fixe a amostra no rack de amostra para garantir que a superfície da amostra não seja bloqueada (o plasma deve ser coberto uniformemente) e que o rack de amostra seja colocado no centro da cavidade de reação (evitando estar perto dos eletrodos).

Confirmação de Consumíveis e Ambiente:

Verifique a pressão do cilindro de aço de gás (geralmente 0,2-0,5 MPa) para garantir que o gás seja suficiente;

Verifique que a almofada de vedação da porta da câmara de reação está limpa e não está danificada (garantindo o efeito de vedação a vácuo), e que o ambiente experimental não tem fortes vibrações ou poeira (evitando afetar o funcionamento do instrumento).

Etapas operacionais principais (configuração inteligente, sem intervenção manual)

Iniciar o instrumento com a pompa a vácuo:

Abra a fonte de energia total do instrumento, inicie o sistema de controle (alguns modelos operam com tela táctil), selecione "modo manual" ou "modo automático" (modo automático recomendado para novatos, parâmetros de limpeza comuns incorporados);

Feche a porta da câmara de reação, pressione o botão "bombear vácuo", o instrumento iniciará automaticamente a bomba de vácuo, bombear a pressão dentro da câmara de reação para o nível de vácuo definido (geralmente 10-100Pa, ajustado de acordo com o tipo de amostra), o instrumento avisará automaticamente após a conclusão do bombeamento (luz indicadora acende ou zumbido).

Configuração de entrada de gás e parâmetros:

Escolha o tipo de gás de limpeza (por exemplo, limpeza de óleo com oxigênio contaminado, argão com ativação de superfície, argão + oxigênio com limpeza composta), defina o fluxo de gás (geralmente 10-50sccm, fluxo muito grande e fácil de destruir o vácuo, concentração de plasma muito pequena é insuficiente);

Configurar parâmetros de limpeza:

Potência (50-300W, alta potência de seleção de amostras rígidas, baixa potência de seleção de amostras suaves / térmicas);

Tempo de limpeza (30 segundos a 10 minutos, curto período de poluição leve e longo período de limpeza profunda);

Alguns modelos suportam "parâmetros de segmentação" (por exemplo, pré-tratamento de baixa potência e limpeza de alta potência) e podem ser configurados conforme necessário.

Iniciar a limpeza de plasma:

Após a confirmação dos parâmetros, pressione o botão "Iniciar a limpeza", o instrumento executará automaticamente o processo: primeiro mantenha o fluxo de gás e o vácuo estável, em seguida, inicie a fonte de energia de radiofrequência para gerar o plasma (um brilho fraco aparecerá na cavidade de reação, um fenômeno normal);

Durante o processo de limpeza, a tela mostra em tempo real o nível de vácuo, o fluxo de gás, a potência, o tempo restante e outros parâmetros, sem necessidade de ajuste manual, se houver anomalia (como o nível de vácuo não está em conformidade com o padrão, vazamento de gás), o instrumento será automaticamente alarme e parada.

Terminação após a operação (3 minutos, proteção do instrumento + amostra)

Pare de limpar e descarregar:

Após o fim do tempo de limpeza, o instrumento fecha automaticamente a fonte de energia de rádio e a válvula de gás para entrar no processo de "descarga de pressão" (introdução de uma pequena quantidade de gás inerte, como nitrogênio, para equilibrar a pressão interna e externa na cavidade de reação);

Após a execução da pressão (a pressão dentro da cavidade de reação retorna à pressão atmosférica), o instrumento indica "operação concluída", então a porta da cavidade de reação pode ser aberta.

Tire amostras e verifique:

Usar luvas para tirar a amostra e observar o estado da superfície da amostra (por exemplo, se seca, sem resíduos, se a tensão superficial aumenta, o efeito de limpeza pode ser verificado pelo teste de ângulo de contato de gotas);

Para processar várias amostras de forma contínua, repita a etapa "Preparação da amostra → Pumpagem a vácuo → Limpeza" sem desligar a energia total do instrumento.

Apagamento e manutenção do instrumento:

Após a conclusão de todo o tratamento da amostra, feche a válvula do cilindro de gás, pressione o botão "Parar a bomba de vácuo", e depois que a bomba de vácuo estiver completamente parada (para evitar que a bomba de vácuo retorne ao óleo), desligue a fonte de energia total do instrumento;

Limpe a almofada de vedação da porta da cavidade de reação e a amostra com um pano limpo, limpe pequenas quantidades de poeira (se houver) dentro da cavidade de reação, mantenha o instrumento limpo e prolonge a vida útil.

O processo de operação da máquina de limpeza ao plasma é padronizado e inteligente, todo o processo é baseado em "botão + configuração de parâmetros", sem necessidade de regulamento mecânico ou conhecimento químico complexo, os iniciantes podem dominar as operações básicas em 10 minutos. Sua "complexidade" é refletida principalmente na "seleção de parâmetros" (por exemplo, amostras diferentes correspondem a diferentes gases, potência, tempo) e não nas próprias etapas operacionais - uma limpeza eficiente é possível desde que os parâmetros adequados sejam escolhidos de acordo com o material da amostra (duro / macio, resistência à temperatura) e o propósito da limpeza (desóleo, ativação, gravação).