PLUTO-30(30L) Máquina de limpeza multifuncional ao plasma - assistir ao vídeo online

O PLUTO-30 é um sistema de plasma totalmente funcional projetado para pesquisa e desenvolvimento, com um gerador de radiofrequência de 13,56 MHz e uma fonte de energia de rede de correspondência automática para gerar plasma uniforme em toda a área de processo. A cavidade de vácuo do Pluto30 suporta até sete bastidores de amostras ajustáveis para acomodar amostras de várias formas e tamanhos. O Pluto30 tem uma variedade de configurações de eletrodos que podem ser configuradas em modos RIE e PECVD, ampliando assim o alcance do sistema e oferecendo uma boa flexibilidade ao usuário.