O revestimento de evaporação de pulverização de magnetrônio de alto vácuo é um equipamento usado para preparar a película em um ambiente de vácuo através da combinação de tecnologia de pulverização de magnetrônio e método de evaporação, principalmente para a preparação de película em materiais semicondutores, componentes ópticos e outros campos.
Características de desempenho
Alta qualidade do filme: a densidade do filme de deposição de pulverização de magnetrônicos, forte adesão, pode controlar com precisão a espessura e a composição da película; A evaporação de vácuo pode alcançar a deposição de filmes de alta pureza, que podem ser combinados para produzir filmes de bom desempenho, como filmes ópticos, filmes de dispositivos eletrônicos e outros, com bons efeitos de aplicação.
Uma ampla gama de materiais de revestimento: pode lidar com uma variedade de materiais como metais, ligas, compostos, semicondutores e outros, que podem ser depositados por pulverização de magnetrônicos com metais de alto ponto de fusão, ligas e compostos, ou por evaporação de vácuo para depositar metais puros, matérias orgânicas e outros filmes.
Flexibilidade do processo: vários processos de revestimento podem ser alcançados ajustando a potência, a pressão do gás, a distância da base de alvo e os parâmetros da temperatura de aquecimento e taxa de evaporação da evaporação de vácuo, tais como sputtering de alvo único, co-sputtering de vários alvos, sputtering de reação, revestimento de evaporação e seus processos combinados.
Área de aplicação
Área eletrônica: para a preparação de eletrodos, camadas de interconexão, camadas de bloqueio para chips semicondutores, e filmes condutores transparentes para monitores de tela plana, filmes de meios ópticos, como a preparação de eletrodos transparentes de óxido de indio-estanho, camadas de interconexão de cobre, etc.
Área óptica: pode preparar filmes ópticos de permeabilidade, filmes de filtro, filmes reflexivos e outros, para melhorar o desempenho óptico dos componentes ópticos, como dispositivos a laser, células solares, lentes ópticas e outras aplicações.
Área de máquinas: depositar revestimento resistente ao desgaste rígido, revestimento auto-lubrificante, etc. em superfícies como moldes, rolamentos e outros, para melhorar sua dureza, resistência ao desgaste e vida útil.
Área de decoração: usado para revestimento de superfície de peças externas no interior do automóvel, caixa de produtos eletrônicos, jóias, filmes metálicos, ligas, filmes coloridos, etc., para melhorar a beleza e a decoração do produto.