Uma das falhas mais comuns do conjunto de bombas moleculares é a falta de vácuo, que se manifesta como um vácuometer que mostra valores sempre superiores ao valor alvo e que não consegue atingir o estado de alto vácuo necessário para o processo. As principais razões para o problema são três: um é o envelhecimento ou dano da vedação, como o anel de vedação da flange devido a rachaduras de alta temperatura e baixa temperatura a longo prazo, causando vazamento de ar; Em segundo lugar, a entrada de ar ou a tubulação está bloqueada, a acumulação de poeira e resíduos de processo impede a circulação de ar; Terceiro, o desempenho da própria bomba molecular diminui, o desgaste da lâmina do rotor ou a velocidade de rotação do motor é insuficiente. No diagnóstico, o espectrômetro de massa de hélio pode ser usado primeiro para detectar a superfície de vedação e, se um vazamento de hélio for encontrado, substituir a vedação; Verifique novamente os tubos de entrada de ar e limpe os obstruídos com ar comprimido; Se os dois primeiros itens não forem anormais, a velocidade do motor deve ser detectada e, se necessário, o rotor ou o motor deve ser substituído.

O ruído e vibração anormais também são sua falha de alta frequência, gerando ruído agudo ou tremores fortes no corpo durante a operação, que não só afetam a vida útil do equipamento, mas também podem danificar os componentes associados. A causa principal da falha é o desequilíbrio mecânico, como o equilíbrio dinâmico do rotor quebrado, desgaste ou lubrificação insuficiente dos rolamentos, ou a conexão solta do conjunto de bomba com a base. As etapas de diagnóstico são as seguintes: primeiro, verifique o parafuso de conexão em parada e use a chave de torque para fixar o torque padrão; Em segundo lugar, desmontar o corpo da bomba, observar se a bola do rolamento tem arranhões, desgaste, se houver problemas, substituir imediatamente e adicionar a graxa lubrificante especial de alta temperatura; Se o rolamento estiver normal, o rotor deve ser calibrado para garantir que seu centro de gravidade esteja estável durante a rotação.

Além disso, a falha de sobrecarga do motor também é mais comum, o equipamento está parado repentinamente durante a operação e o interruptor de proteção contra sobrecarga na caixa de distribuição é desconectado. Essa falha é geralmente causada por cargas excessivas, como o rotor preso por um objeto estranho que entra na cavidade da bomba, a temperatura excessiva causada por uma má refrigeração do motor ou a tensão de alimentação instável. No momento da verificação, corte a fonte de energia, gire o rotor manualmente e, se houver cartão, desmonte o corpo da bomba para limpar os objetos estranhos; Verifique se o ventilador de arrefecimento do motor está danificado ou se o canal de arrefecimento está bloqueado e limpe ou substitua peças em tempo útil; Ao mesmo tempo, detecte a tensão de alimentação com um multimetro para garantir que ela esteja dentro da faixa de tensão nominal do dispositivo e, se necessário, instale um regulador de tensão.

Seu diagnóstico e resolução de falhas deve seguir o princípio de "observar primeiro o fenômeno, analisar a causa e finalmente tratar com precisão", ao mesmo tempo que realiza manutenção preventiva regular, como limpar a vedação, verificar o estado do rolamento, calibrar os parâmetros do motor, etc., para minimizar a ocorrência de falhas, garantir o funcionamento estável do equipamento a longo prazo e fornecer suporte confiável ao ambiente de vácuo para a produção e a experiência de alta precisão.