Máquinas de desglaçamento de plasma a vácuo são amplamente aplicadas em embalagens de semicondutores, fabricação de microeletrônica e outras áreas, e suas falhas afetam diretamente a eficiência de produção e a qualidade do produto. Aqui estão as soluções comuns de falhas com base nos princípios do equipamento e na experiência prática:

A falha do sistema de vácuo

- insuficiência de vácuo ou impossibilidade de bombear vácuo

- Envelhecimento da vedação: verifique se o anel de vedação da porta da cavidade e o anel O na interface da tubulação estão desgastados e substitua a vedação deformada ou rachada em tempo útil.

- Bomba de vácuo anormal: observar o som de funcionamento do conjunto de bomba e o nível de óleo, se a emulsão de óleo de bomba mecânica ou a bomba molecular for errada, é necessário substituir o lubrificante ou reparar o conjunto de bomba.

- Vazamento de gás: Detecção de tubos de gás com espectrometro de massa de hélio, verificação de válvulas de redução de pressão, conexões de medidores de fluxo, fixação de junções soltas ou substituição de tubos quebrados.

- Erro de alarme de vácuo

- Drift de calibração do sensor de pressão: comparar regularmente os valores do dispositivo com o vácuometer padrão, o sensor precisa ser recalibrado quando o erro excede ± 5%.

Falha do sistema de rádio-frequência (RF)

- Plasma não pode ser gerado.

- Danos à fonte de energia de RF: medir o sinal de saída da fonte de RF, se não houver saída de energia, retornar à manutenção de fábrica; Se o teste de carga falsa for normal, verifique se o cabo de RF está quebrado ou oxidado.

- Falha do aparelho de correspondência: ajuste dos parâmetros de capacitação / indução do aparelho de correspondência automática. Se o motor estiver bloqueado ou a engrenagem desgastar, a caixa de correspondência deve ser desmontada para limpar o carbono acumulado e substituir os componentes danificados.

Densidade de plasma baixa ou instável

- Poluição de eletrodos: desmontar a placa de eletrodos superior e inferior, limpar o colóide residual da superfície com etanol sem água para evitar o acúmulo de matéria orgânica que cause descargas desiguais.

- Pureza insuficiente do gás: deteta a pressão do argão e do aço do oxigênio, substitui a fonte de gás quando a pureza do gás for inferior a 99,99%, enquanto limpa as impurezas dentro do controlador de fluxo de massa.

Efeitos anormais do processo

- Descolagem ineficiente

Configuração incorreta dos parâmetros: ajustar a potência (normalmente 60 ~ 120W) e o tempo (30 ~ 120 segundos) de acordo com a espessura da cola, por exemplo, a cola fotográfica espessa precisa aumentar a proporção de oxigênio para 80% para melhorar a taxa de reação química.

- Poluição da cavidade: limpar regularmente a mesa de carregamento com isopropanol por ultra-som para remover as partículas residuais de goma descascadas e evitar o efeito do tratamento do efeito da deposição secundária.

Danos à superfície do material

Gravação excessiva: redução da potência de RF abaixo do limiar ou redução do tempo de processamento; O uso de um modo de pulso (ocupação de vazio ≤ 70%) para dispositivos sensíveis reduz a acumulação de calor.

Faixas de hardware e sistemas de controle

O dispositivo não pode ser iniciado

- O interruptor de parada de emergência não foi reiniciado: verifique se o botão vermelho de parada de emergência do painel de operação aparece e torne a fonte de energia depois de desbloquear em sentido horário.

- Falha do relé: medir a tensão de saída do circuito de controle, se a ligação do contato do relé for necessária para substituir os componentes do mesmo modelo.

Fluxo de gás fora de controle

- Bloqueamento da válvula eletromagnética: desmontar o filtro de gás, soprar o elemento de filtro com nitrogênio de alta pressão, substituir diretamente o novo elemento de filtro quando estiver gravemente bloqueado.

A solução de falhas das máquinas de desglaçamento de plasma a vácuo requer uma abordagem integrada que combine tecnologia de vácuo, engenharia de radiofrequência e experiência no processo. O mecanismo de "manutenção preventiva + diagnóstico rápido" pode melhorar significativamente a operação do equipamento.