Controle de gases de reação química: Em alguns métodos especiais de análise elementar, gases de reação química são envolvidos. Por exemplo, em medidores de nitrogênio quimicamente luminescentes, para analisar o teor total de nitrogênio em amostras, o fluxo de oxigênio deve ser controlado através do MFC. A reação do oxigênio com os compostos nitrogênicos na amostra produz sinais químicamente luminosos e o controle preciso do fluxo de oxigênio pelo MFC pode ajustar a velocidade e o grau da reação para medir com precisão o teor de nitrogênio. Em geral, o MFC pode controlar o fluxo de oxigênio entre 50 e 150 mL/min, garantindo que a reação química ocorre nas condições adequadas.