Em processos de precisão na indústria de fabricação de semicondutores e fotovoltaicos, os fornos de difusão são um dos principais equipamentos para obter dopagem precisa e crescimento de película fina. Os medidores de massa de gás e controladores de fluxo de massa de gás da Aitoly desempenham um papel fundamental neste processo, determinando diretamente o sucesso do processo de difusão e o desempenho final do produto através da medição e controle precisos dos gases de processo.

Em sistemas complexos de vias de gás em fornos de difusão, os medidores de fluxo de massa de gás (MFM) e controladores de fluxo de massa de gás (MFC) da Atoli são usados principalmente nos seguintes pontos principais:

Transporte e controle de gases de processo: o MFC da Etoli permite medições precisas e controle em tempo real de gases de reação (como oxigênio, nitrogênio, argão, etc.) que entram no forno de difusão. Por exemplo, a série MFC330 oferece pequenas especificações de fluxo de até 0-5 SCCM, garantindo que a concentração e distribuição de dopantes atendam aos exigentes requisitos de processo.

Distribuição e mistura em vias de gás: Em situações em que vários gases sejam misturados em proporções específicas, vários MFMs ou MFCs da Eltoli podem trabalhar juntos para medir com precisão o fluxo de gases em vias, garantindo assim a uniformidade e a estabilidade da composição dos gases misturados, criando o ambiente ideal para a reação de difusão.

Segurança e tratamento de gases de escape: os equipamentos de fluxo da Atroli monitoram o fluxo de emissões de gases de escape, fornecendo suporte de dados para otimização de processos e conformidade ambiental. Ao mesmo tempo, garante um fornecimento confiável de gases seguros, como a limpeza, aumentando a segurança de todo o sistema.

💡 Vantagens tecnológicas essenciais dos produtos da Etoli

Os medidores de fluxo de massa/controladores de gás da Atoli são adequados para aplicações em fornos de difusão graças às suas principais características técnicas:

Alta precisão e repetibilidade: os produtos da Atroli apresentam alta precisão e propriedades de zero derivação muito baixas. A série MFC330, por exemplo, tem uma precisão de ±0,5% F.S. e uma precisão de repetição de ±0,2% F.S., garantindo a consistência do desempenho de cada lote de produtos.

Ampla proporção de alcance e resposta rápida: o tempo de resposta do dispositivo é geralmente inferior a 1 segundo, o que permite acompanhar rapidamente a mudança das etapas do processo. A gama de medição de fluxo da série MFC330 pode chegar a 2% ~ 100% F.S., tanto para o controle de fluxo mínimo em condições estáveis ​​como para as necessidades de fluxo elevado.

Compatível com vários gases e materiais de alta limpeza: os medidores de fluxo da Atroli suportam uma variedade de medições de gases, como a série MFC300, que é compatível com vários gases, como ar, N2, O2 e H2. As seções de contato de vias de ar geralmente usam materiais altamente limpos e resistentes à corrosão, como o aço inoxidável SUS316L, e fornecem um canal altamente polido para prevenir eficazmente a poluição do gás e garantir a pureza do processo de semicondutores.

Comunicação flexível e capacidade de integração: os medidores de fluxo da Atroli suportam vários protocolos de comunicação, como a série MFC330, RS232, RS485, CAN e sinais analógicos de 0-5VDC e 4-20mA, que podem ser facilmente integrados ao sistema de controle central do forno de difusão para automatizar a produção e o monitoramento de dados.

🛠️ Seleção e sugestões de aplicação

Ao escolher o medidor/controlador de massa de gás Atroli para fornos de difusão, é recomendado prestar atenção aos seguintes pontos:

Confirmar o meio e a faixa de medição: primeiro, determinar a composição do gás (se é corrosivo) e a faixa de fluxo que você deseja medir. Os modelos com fluxos mínimos e máximos necessários para o processo de cobertura devem ser selecionados, por exemplo, para o doping em traces, o MFM610 pode ser selecionado com um alcance mínimo de até 0-5 sccm.

Concentre-se na pressão e na conexão: verifique a diferença de pressão de trabalho do equipamento e a resistência à pressão máxima, por exemplo, a diferença de pressão de trabalho da série MFC300 é de 0-1MPa e a resistência à pressão é de 1,1MPa. Ao mesmo tempo, verifique se a forma de junção do canal de ar (por exemplo, rosca M8 * 1, rosca rápida, etc.) corresponde à tubulação existente.

Modelo de controle preferido: se o processo precisar ajustar o fluxo de gás em tempo real, certifique-se de escolher o controlador de fluxo de massa de gás (MFC); Se apenas for necessário monitorar, um medidor de fluxo de massa de gás (MFM) é o suficiente.

Especificação da instalação e operação: Certifique-se de que a tubulação é limpa durante a instalação, preste atenção à calibração da orientação de instalação horizontal e certifique-se de que o equipamento possui segmentos de tubo direto suficientes (geralmente recomendado não menos de 10 vezes o diâmetro do tubo) para garantir a estabilidade do fluxo e a precisão da medição.

💎 Resumo

Com sua alta precisão, resposta rápida, excelente estabilidade e forte capacidade de integração de sistemas, os medidores e controladores de massa de gás da Atoli desempenham um papel fundamental no controle de gás de processo em fornos de difusão para garantir o desempenho e a eficiência de semicondutores e dispositivos fotovoltaicos.