MFC(Controlador de fluxo de massa de gás) é um instrumento de precisão capaz de medir e controlar com precisão o fluxo de massa de gás, o seu princípio básico é baseado na tecnologia de medição de condução térmica ou diferença de pressão, através de sensores e válvulas de controle para alcançar a regulação de fluxo de alta precisão e resposta rápida, amplamente utilizado na fabricação de semicondutores, indústria química, farmacêutica, monitoramento ambiental e outras áreas.

　　MFCÁreas de aplicação:

Fabricação de semicondutores

Controle com precisão o fluxo de gás em processos como deposição em fase química (CVD), gravação e difusão para garantir a qualidade do chip. Por exemplo, controlar o fluxo de gases de reação, como o silão, para garantir a uniformidade do depósito de película fina.

Produção química

Otimizar as condições de reação para aumentar a eficiência da produção. Por exemplo, controlar o fluxo logístico da reação para controlar a velocidade e eficiência da reação química.

Indústria farmacêutica

Garantir a precisão e confiabilidade do fornecimento de gás estéril. Por exemplo, controlar o fluxo de medicamentos ou gases para garantir o funcionamento correto do dispositivo médico.

Monitoramento e Governança Ambiental

Monitore o fluxo de gás na atmosfera em tempo real para apoiar a avaliação da qualidade do ar, rastreamento de fontes de poluição e controle de poluição. Em equipamentos ambientales como tratamento de gases de escape e purificação de ar, controle preciso do fluxo de gás durante o tratamento para garantir que o efeito de tratamento seja otimizado.

Outras áreas

Controle de medição de fluxo de massa de gás de combustível em caldeiras e fornos de cracking; Medição do fluxo de massa da indústria petroquímica, extração de petróleo e tocha; O forno de combustão controla o fluxo de medição da qualidade do ar; Processamento de alimentos, controle de gás de cloro, etc.