Desafios da indústria

A consistência da produção de água ultrapura (UPW) é essencial para a fabricação de microeletrônica e ajuda a proteger a qualidade do produto. Além do monitoramento básico da água ultra-pura, as fábricas de microeletrônica também enfrentam desafios em como reagir rapidamente aos resultados de desvios de tendência e realizar uma solução eficaz de problemas e controle de processo. Outras áreas de preocupação incluem garantir a pureza dos produtos químicos para melhorar o desempenho do processo e a produção em massa, bem como monitorar as águas residuais e a água reutilizada.

Os fabricantes de microeletrônica enfrentam uma variedade de poluentes orgânicos e desafios na produção, incluindo:

　　●Concentrações baixas em ppm em água e produtos químicos de processo de alta pureza

　　●Concentração em ppt antes do polimento final

　　●Matrizes de amostras complexas para aplicações de reutilização de água e águas residuais

　　●Necessidades críticas de monitoramento de partículas perigosas, como o silicone

　　solução

Com o analisador de carbono orgânico total (TOC) da Sievers e o analisador de boro de água ultrapura (UPW), a Veolia oferece soluções analíticas adequadas a cada etapa do processo de fabricação de microeletrônica. Devido à sua ampla gama de análises e versatilidade de aplicações, os analisadores TOC da Sievers podem ser usados para monitoramento de água ultrapura, pureza de produtos químicos de processo, reutilização de água e tratamento de águas residuais. Como o boro é vazado do leito de resina antes do dióxido de silício, o analisador de boro de água ultrapura Sievers permite o controle do dióxido de silício e a gestão do leito de resina através da detecção de concentrações elevadas de boro.

　　Opções de monitoramento abrangentes e flexíveis

Existem duas técnicas de detecção comumente usadas para monitorar TOC em aplicações de microeletrônica de baixa concentração: Condutométrica de Membrana e Condutométrica Direta. Os produtos da Sievers abrangem ambas as tecnologias e oferecem oxidação química úmida adequada para substratos mais complexos, como produtos químicos de processo e águas residuais.

Nós oferecemos os seguintes instrumentos e produtos:

　　●Os analisadores TOC Sievers M9e, M500e e 500 RLe utilizam a tecnologia de detecção de condutividade de membrana Sievers

A tecnologia de condutividade de membrana Sievers elimina falsos positivos e falsos negativos causados ​​por halogenados orgânicos e aminas presentes na maioria dos sistemas de água ultrapura

　　●Sensores TOC Sievers CheckPointe com tecnologia de detecção de condutividade direta

　　 ◆Oferece uma opção econômica para pontos de monitoramento de água ultrapura não críticos

　　 ◆Ferramentas para diagnóstico e resolução de problemas rápidos

　　●O analisador TOC Sievers InnovOx utiliza a tecnologia de detecção de infravermelho não disperso (NDIR) e oxidação de água supercrítica (SCWO)

　　 ◆Detecção precisa e confiável de traços de substâncias orgânicas em ácidos, álcalis e produtos químicos puros

　　 ◆Possibilidade de monitorar as águas residuais e até 30% de álcool

　Necessidades de aplicações e soluções da Sievers

　　Monitoramento de sistemas de abastecimento de água, água ultrapura e reutilização

O analisador TOC online e portátil Sievers M9e foi projetado para os sistemas e aplicações de água mais complexos. O analisador analisa a gama de 0,03 ppb a 50 ppm e usa a tecnologia de condutividade de membrana para detectar com precisão as concentrações de TOC na água de alimentação do sistema, na água de osmose inversa e na água de produção final. Usando o modo Turbo opcional, com apenas 4 segundos de análise, o analisador SieversM9e é a ferramenta de resolução de problemas ideal para a detecção de água reutilizada.

O Sievers M9e pode:

　　●Correspondência entre instrumento e instrumento

　　●Estabilidade da detecção de baixas concentrações em aplicações de água ultrapura de baixo TOC

　　●Operações automatizadas, como calibração, validação e análise de dados

　　●Período de estabilidade de calibração de 12 meses

　　●Zero automático avançado para precisão e precisão de nível ultrapuro

　Pureza de produtos químicos e águas residuais

Para alcançar o desempenho do processo e otimizar a produção em massa, o controle do TOC é essencial em produtos químicos de processo como peróxido de hidrogênio, hidrogênio de sódio, hidrogênio de amônio, ácido sulfúrico e outros produtos químicos de gravação / galvanização. O analisador TOC InnovOx da Sievers é ideal para este tipo de monitoramento, bem como para o monitoramento de matérias orgânicas em águas residuais e águas reutilizadas.

O Sievers InnovOx ajuda a:

• As fábricas tomam decisões mais informadas de conformidade e processamento

　　●Detecção direta de carbono em tempo real em contraste com a detecção indireta de oxigênio

　　●Tratamento de matrizes complexas com a tecnologia de oxidação de água supercrítica (SCWO)

Analisadores Sievers e suas aplicações na fabricação de microeletrônica

　　Referências

1.Godec, Richard D., “Monitoramento e Controle da Contaminação Orgânica de Nitrogeno da UPW para Melhorar o Controle do Processo de Fotolitografia de Imersão.” Apresentado na Conferência de Água ULTRAPURA, Portland, OR, Novembro de 2011, Tall Oaks Publishing, Inc.

2.Godec, Richard D., “A comparação de desempenho dos analisadores de TOC de água ultrapura usando um aparelho de adição padrão automatizado. Publicado e protegido por Semiconductor Pure Water and Chemical Conference, 2000 Proceedings.

Dunn R., Nova técnica analítica promove a eliminação da sílica em sistemas de alimentação, vapor e condensado.