Espectro-elipímetroÉ um instrumento de medição óptica de alta precisão usado principalmente para analisar as propriedades ópticas dos materiais (como a refração, o fator de extinção de luz), a espessura da película fina (de nanométricos a micrométricos) e a informação microestrutural da superfície / interface. Seu princípio central é usar o estado de polarização da luz na superfície do material após a reflexão ou transmissão da mudança, analisando as propriedades físicas do material que repele essa mudança, é amplamente utilizado em semicondutores, filmes ópticos, nanomateriais, biomédica e outras áreas.

O dispositivo pode medir sem contato, sem danos durante a operação, sem danificar a amostra; A medição da espessura pode ser alcançada em escala nanométrica; Sem marcação ou pré-tratamento, é adequado para vários materiais.

EscolhaEspectro-elipímetroPodemos prestar atenção aos seguintes pontos:

1, faixa espectral: escolha a faixa espectral adequada de acordo com as propriedades ópticas do material de medição. Por exemplo, os materiais transparentes precisam prestar atenção à área espectral de refração e os materiais de absorção de ondas curtas podem ser expandidos para a área transparente do infravermelho para determinar a espessura.

Precisão e repetibilidade da medição: a precisão é o indicador principal e a precisão precisa ser verificada através de amostras padrão (como ar); A repetibilidade reflete a estabilidade do instrumento e requer múltiplas medições para comparar os resultados.

Método de ângulo de entrada: medição de múltiplos ângulos pode aumentar a confiabilidade, mas nem todos os cenários são necessários. Estruturas complexas como filmes multicamadas e filmes de absorção exigem medições de múltiplos ângulos, enquanto que filmes simples podem ter um único ângulo.

Software de análise: a medição do elipsómetro é uma medição não direta, os dados devem ser adequados à análise. O software deve ter uma rica base de dados de materiais, capacidade de construção de modelos flexível e algoritmos eficientes para suportar uma reversão de parâmetros rápida e precisa.

Configuração de hardware: escolha o compensador rotativo, a base de desvio automático, a tecnologia de agrupamento e outros hardware de acordo com as necessidades.