O revestimento por evaporação de feixe de eletrões é uma técnica que usa um material aquecido por feixe de eletrões em um ambiente de vácuo para evaporá-lo e depositá-lo na superfície da base para formar uma película fina. Aqui está uma descrição detalhada do processo de uso:
I. Preparação antecipada
Preparação de amostras e materiais: escolha o material de vaporização adequado, como metal, liga ou composto, de acordo com as necessidades e coloque-o em um crucel refrigerado a água. Certifique-se de que o material é puro e livre de poluição.
Inspeção do equipamento: verifique se os componentes do equipamento estão intactos, incluindo pistola eletrônica, bomba de vácuo, sistema de refrigeração, etc. Verifique que a conexão de alimentação está correta e que a câmara de vácuo está limpa sem impurezas.
Instalação do substrato: Fixe o substrato a revestir no rack da amostra para garantir que sua posição seja precisa e estável. Para substâncias com formas complexas, é necessário ajustar a amostra para garantir uma boa cobertura.
II. Pumpar vácuo
Inicie a bomba de vácuo: primeiro, abra a bomba mecânica e reduza inicialmente a pressão do ar na cavidade para um nível mais baixo (geralmente abaixo de 10Pa). Em seguida, a bomba molecular é iniciada para reduzir ainda mais a pressão para um estado de alto vácuo (geralmente atingindo cerca de 5 x 10-2 Pa).
Manter o ambiente de vácuo: durante todo o processo de revestimento, a pressão do ar dentro da cavidade deve ser monitorada continuamente para garantir que esteja dentro da faixa definida para garantir a estabilidade e a controlabilidade do processo de evaporação.
Aquecimento e evaporação de feixes eletrônicos
1. geração e foco do feixe de eletrônicos: ligar a fonte de energia da arma eletrônica e lançar o feixe de eletrônicos. O raio de desvio do feixe de eletrões é controlado ajustando a intensidade do campo magnético para que o feixe de eletrões caia com precisão no material de vaporização dentro do crucel.
Evaporação do material: aumentar a corrente do fio e a potência do feixe de eletrônicos para que o material de vaporização se derreta gradualmente e eventualmente se vaporize. Neste processo, é necessário prestar atenção ao estado de evaporação do material para garantir que ele seja aquecido uniformemente e evapore completamente.
Monitoramento e controle da espessura da membrana: Monitore a espessura do revestimento em tempo real usando o sistema de controle da espessura da membrana. Quando a espessura desejada for atingida, feche o parabrisas automaticamente ou manualmente para parar de evaporar.
IV. Tratamento posterior
Desligue o dispositivo: desligue o interruptor de varredura de feixe de eletrônicos, a corrente, a tensão e a fonte de energia total do dispositivo em sequência inversa. Certifique-se de que todos os parâmetros são resetados para zero antes de proceder à próxima etapa.
Quebrar o vácuo e retirar as peças: introduzir nitrogênio ou outros gases inertes na cavidade para restaurar a pressão normal. Em seguida, abra a porta da cavidade para retirar a amostra revestida.
Teste de amostra: realiza um teste completo de qualidade e desempenho das amostras extraídas para garantir que elas atendam aos requisitos do processo e aos padrões de aplicação.
O processo de utilização de revestimentos de evaporação de feixe de eletrões envolve vários pontos. Cada passo requer um controle rigoroso das condições e parâmetros para garantir a qualidade do resultado final. À medida que a tecnologia se desenvolve e aperfeiçoa, essa tecnologia desempenhará um papel importante em mais áreas.