em高真空ambiente, por meio de aquecimento de resistência ou bombardeio de feixe de eletrõesMateriais de revestimento (fonte de evaporação)gasificação, vapor condensado na superfície do substrato para formar uma película fina,Evaporação térmica, evaporação de feixe de eletrões, revestimento a vácuo, deposição de película fina, PVD、 Materiais de vaporização