Máquina de revestimento de pulverização magnetrônica de quatro alvos

A pulverização magnetrônica em comparação com a pulverização de plasma comum tem a vantagem de alta velocidade de energia, alta taxa de revestimento, baixa temperatura da amostra, é a típica pulverização de alta velocidade e baixa temperatura. O alvo do magnetrônio é equipado com a camada de resfriamento a água, o refrigerador de água pode efetivamente tirar o calor, evitar a acumulação de calor na superfície do alvo, para que o revestimento do magnetrônio possa trabalhar estável por um longo período de tempo