O cristal de quartzo e o oscilador formam um circuito de ressonância que produz um sinal de oscilação estável. A frequência de oscilação do novo chip é de 6MHz, quando o chip é revestido, devido ao aumento do peso do chip e da tensão superficial, sua frequência de ressonância será reduzida, esta mudança de frequência é detectada pelo medidor de frequência, de acordo com a taxa de mudança de frequência e a densidade do material e a resistência sonora do material e outros parâmetros para calcular a espessura da camada revestida no chip. Finalmente, a taxa de revestimento é calculada pela variação da espessura da camada de endomembrana em unidades de tempo.

Primeiro, a placa de oscilação é instalada na frente da sonda e colocada na câmara de vácuo. Defina o "fator de ferramenta" do material da película fina no monitor (para calibrar fatores como densidade e tensão) e a espessura desejada. Em seguida, o revestimento começa e o monitor mostra a espessura atual e a taxa de sedimentação em tempo real. Quando a espessura atinge o valor padrão, o monitor emite um sinal para desligar automaticamente o parabrisas ou a fonte de evaporação para parar o revestimento.

O medidor de espessura de membrana pode medir diretamente a espessura da massa, o princípio é simples e é aplicável a quase todos os tipos de materiais (metais, meios, etc.), e pode monitorar simultaneamente a espessura e a taxa de sedimento, controlar a estabilidade do processo, óptica relativa, equipamento e consumíveis (osciladores) com custos mais baixos. Mas a medição é a espessura da placa de oscilação, e não a espessura da placa de base real, e há um erro de posição real. É mais sensível às mudanças de temperatura, precisa de condições de trabalho estáveis, o revestimento de oscilador de corte de cristal vai falhar após a espessura e precisa ser substituído. É necessário escolher o uso do medidor de espessura da membrana de acordo com a situação real.