Da dependência das importações à ruptura autônoma: sensores de gás fotoelétricos quadratêntricos impulsionam avanços críticos na indústria de semicondutores

Em 28 de outubro, foi publicada oficialmente a "Recomendação do CCP sobre a elaboração do 15º Plano Quinquenal de Desenvolvimento Econômico e Social Nacional". Na seção "Acelerar a Autosustentação Científica e Tecnológica de Alto Nível", a Recomendação propõe claramente que é necessário aperfeiçoar o novo sistema de elevação nacional, tomar medidas extraordinárias e promover toda a cadeia, incluindo:circuito integrado,Instrumentos de alta gamaAs principais áreas de foco incluem avanços tecnológicos essenciais. Esta implantação não só restabelece a altura estratégica da indústria de circuitos integrados, mas também enfatiza o papel fundamental dos instrumentos de alta gama na garantia da segurança da cadeia industrial nacional.

　　 Responder ao apelo da política, planejar a substituição doméstica de semicondutores

Nos últimos anos, o país introduziu uma série de políticas para apoiar totalmente o desenvolvimento inovador de toda a cadeia industrial de circuitos integrados e melhorar a capacidade de controle autônomo. Como uma empresa listada de sensores de gás domésticos e instrumentos científicos de alta gama, a Quadrant Optoelectronics Co., Ltd. (a seguir "Quadrant Optoelectronics") e sua subsidiária de propriedade inteira Quadrant Optoelectronics (Wuhan) Instruments Co., Ltd. (a seguir "Quadrant Instruments") responderam positivamente ao apelo da política nacional, com base na profunda acumulação tecnológica no campo da sensorização de gás e na visão da indústria, no campo da fabricação de precisão de semicondutores de layout prospectivo, construíram um sistema completo de pesquisa e desenvolvimento tecnológico e industrialização, especialmente no infravermelho (NDIR), óxido de zircónio e outros princípios de sensorização, com capacidade de pesquisa e desenvolvimento autónoma de cadeia completa de sensores de núcleo a instrumentos analíticos de alta gama.

Para atender às necessidades extremamente exigentes de monitoramento do ambiente de gás na fabricação de semicondutores, a tecnologia fotoelétrica contínua do quadrato se fortaleceu, quebrou o monopólio estrangeiro, desenvolveu independentemente e lançou vários produtos inovadores, como sensores de gás infravermelho e analisadores de oxigênio em traços, resolveu com precisão os pontos de dor do núcleo da indústria e forneceu um apoio tecnológico doméstico sólido e confiável para o desenvolvimento de alta qualidade da indústria de semicondutores da China.

　　 Foco em tecnologias essenciais para produtos inovadores atingir os pontos de dor da indústria

　　01.Sensores de gás infravermelhos: determinação precisa de pontos finais limpos para impulsionar a fabricação verde

No processo de deposição de película fina (CVD/ALD), a limpeza da câmara é um passo fundamental para garantir a estabilidade do processo. Os métodos tradicionais de controle baseados em tempo de experiência tendem a adotar estratégias de limpeza excessiva para evitar a limpeza incompleta, causando um enorme desperdício de gases de processo caros como NF3.

O sensor de gás infravermelho Gasboard-2060, lançado pelo Quadrato Photoelectric, atinge diretamente esse ponto de dor. O produto permite determinar com precisão e inteligência os pontos finais de limpeza monitorando em tempo real e com precisão as mudanças de concentração de subprodutos como o SiF4 durante o processo de limpeza. Isso ajuda os clientes a reduzir os custos operacionais e a implementar a filosofia de fabricação ecológica ao mesmo tempo em que realizam um controle de processo preciso.

　　02.Analisador de oxigênio em traços: precisão de 0,1 ppm para manter o ambiente de processo puro

Na fabricação de semicondutores, a poluição por oxigênio é um "assassino invisível" que afeta a eficiência dos chips. Mesmo traços de oxigênio (até níveis de ppm) são suficientes para desencadear reações oxidativas desnecessárias, resultando em defeitos em circuitos integrados e placas de silício, comprometendo a integridade da estrutura da película fina e afetando gravemente a uniformidade e confiabilidade do produto.

Analisador de oxigênio de baixa concentração da série Gasboard-3050 desenvolvido independentemente pela Quadrant Photoelectric, com resolução mínima de 0,1 ppm, cobertura de 0-10 ppm a 100% O₂, equipado com sensores de óxido de zircónio comprovados a longo prazo no local, com excelente reprodutividade e características de resposta de alta velocidade, pode monitorar com precisão o conteúdo de oxigênio no gás de processo e na câmara do equipamento, ajudando assim os clientes a controlar a poluição de oxigênio a partir da fonte e fornecendo garantias confiáveis ​​para melhorar a eficiência do produto.

　　 Ganhar a confiança do mercado, a força de produção nacional é reconhecida pelos principais clientes

Com empréstimoExcelenteCom o desempenho do produto e o desempenho de qualidade estável, o programa de monitoramento de gás da indústria de semicondutores da Quadrant Optoelectronics entrou com sucesso na cadeia de fornecimento de várias empresas de fabricação de semicondutores e fabricantes de equipamentos principais no país e obteve uma boa avaliação contínua dos principais clientes. O feedback dos clientes confirmou que os produtos fotoelétricos quadratêntricos atingiram o nível de produtos importados semelhantes em indicadores-chave como estabilidade e vida útil, e realmente alcançaram a substituição doméstica.

Enquanto isso, a Quadrant Optoelectronics participou ativamente de eventos da indústria de semicondutores de alto nível em todo o mundo, como a SEMICON China e a Conferência Anual de Equipamentos de Semicondutores CSEAC, através da plataforma de exposição e da comunicação aprofundada com a indústria, continuando a expandir a influência da marca, demonstrando a força inovadora e o espírito empreendedor das empresas chinesas no campo dos instrumentos científicos de alta gama.

Olhando para a nova jornada do quinze ano, os instrumentos de alta gama estão intimamente entrelaçados com o destino da indústria de circuitos integrados. O Quadrante continuará a defender a autonomia tecnológica, em torno da estratégia nacional e das necessidades industriais, continuando a lutar contra os desafios da análise de gás de alta gama, com soluções de sensores mais inovadoras e confiáveis ​​para capacitar a indústria de semicondutores chinesa a melhorar a eficiência e o controle autônomo.