O projeto "Tecnologia-chave de medição elíptica de matriz Mueller de alta precisão e aplicações de nanomedição" desenvolvido pela Universidade de Ciência e Tecnologia da China em conjunto com a empresa de tecnologia de Wuhan Yilight Science Technology Co., Ltd. ganhou o primeiro prêmio de invenção tecnológica da província de Hubei. Este prêmio foi criado pelo Governo Popular da Província, avaliado pelo Comitê de Avaliação de Prêmios de Ciência e Tecnologia da Província e considerado pelo Comitê de Prêmios de Ciência e Tecnologia da Província, e decidido pelo Governo Popular da Província de Hubei, com o objetivo de implementar a estratégia de desenvolvimento impulsionada pela inovação, construir uma província forte de inovação e recompensar o pessoal e as organizações científicas e tecnológicas que contribuíram significativamente para o progresso da carreira científica e tecnológica da província e o desenvolvimento
O elipsómetro de matriz Müller é amplamente utilizado na fabricação de IC, exibição de painéis planos, dispositivos fotoeletrônicos, energia solar fotovoltaica, eletrônica flexível e outras indústrias estratégicas emergentes de nanomateriais, nanoestruturas e pesquisas científicas básicas de nanodispositivos, otimização de processos de fabricação, monitoramento on-line de produção em massa e muitos outros aspectos, com importância estratégica.
"Tecnologia-chave de medição elíptica de matriz de Mueller de alta precisão e aplicações de nanomedição" O elipímetro de matriz de Mueller desenvolvido pelo projeto representa o alto nível da tecnologia de elipímetro, seu processo de desenvolvimento enfrenta principalmente a tecnologia de modulação de polarização de matriz de Mueller de amplo espectro, calibração de precisão e correção de erros dos parâmetros do sistema de medição de matriz de Mueller, teoria e método de medição de elipímetro de película fina de nanoestrutura complexa. Os desafios técnicos foram superados por mais de 10 anos pela Universidade de Ciência e Tecnologia da China e pela Wuhan Yilight Technology Co., Ltd., com o apoio de vários projetos de desenvolvimento de equipamentos científicos importantes do país, o plano nacional 863 e o Fundo Nacional de Ciências Naturais, através da inovação de princípios, desenvolveu com sucesso o elipímetro de matriz de Mueller de alta precisão de amplo espectro com propriedade intelectual autônoma, alcançando a transformação e industrialização dos resultados.
