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A unidade de negócios de medição industrial da Nikon Corporation lançou recentemente o sistema de medição automática de wafers NEXIV VMZ-NWL 200 para resolver os desafios da medição de wafers em processos de back-end de semicondutores, que tradicionalmente realizam mais trabalho manual do que o controle de processo front-end. Portanto, o mercado-alvo principal do NEXIV VMZ-NWL 200 é a medição centrada no processo de fabricação de semicondutores de back-end.
O NEXIV VMZ-NWL 200 alivia a escassez de técnicos especializados em medição manual. A indústria de semicondutores evoluiu ao longo do caminho da miniaturização, o que aumentou o nível de habilidades necessárias para medir e reduziu o número de engenheiros disponíveis. Por outro lado, o mercado de semicondutores continua a se expandir e, portanto, cada vez mais oportunidades de medição estão disponíveis para cada vez menos pessoas. Assim, a medição manual com microscópios ópticos tradicionais atingiu o limite.
O NEXIV VMZ-NWL 200 é um sistema para medir automaticamente os wafers de 6 ou 8 polegadas armazenados no veículo, de acordo com o programa de medição. A confiabilidade do NEXIV e a carga de wafer estável com o uso do NWL garantem uma alta repetibilidade das medições. O sistema permite escolher intuitivamente o chip a medir usando software dedicado. Assim, qualquer pessoa pode obter os resultados de medição do chip necessários com um alto nível de confiabilidade. Além disso, o tempo e o procedimento das medições podem ser acompanhados, o que ajuda a melhorar a rastreabilidade.
O sistema foi projetado com a segurança em mente e fornece uma tampa protetora para evitar danos causados por erros do operador. Operação em conformidade com as normas internacionais SEMI S2, S8 e F47.
Sobre a medição Nikon
A Nikon oferece uma variedade de produtos, serviços e soluções em todo o mundo com base na tecnologia fotoeletrônica avançada e de precisão acumulada ao longo de mais de 100 anos de história da empresa. O Grupo continua a criar novo valor, contribuindo de várias formas para a melhoria da qualidade de vida e do setor de fabricação. A unidade de negócios de medição industrial (IMBU) da Nikon oferece soluções integradas e otimizadas de alta precisão que não só são personalizadas e econômicas, mas também funcionam bem imediatamente após a implementação. O último desenvolvimento na Nikon Digital Manufacturing é uma colaboração mais estreita entre a IMBU e a Divisão de Negócios de Soluções Digitais da empresa (DSBU), que lançou uma gama de soluções de fabricação óptica aditiva e redutiva para processar materiais com uma variedade de superfícies sub-micrométricas.
