Ácido fosfórico de alta temperatura

HORIBA/Borita CS-620F tipo de fibra ópticaÁcido fosfórico de alta temperaturaDetalhes do produto:

No processo 3D NAND, dezenas de camadas de dióxido de silício e nitreto de silício são depositadas e a camada de nitreto de silício é gravada seletivamente usando ácido fosfórico a alta temperatura. Neste processo, a taxa de gravação desejada é obtida controlando a concentração e a temperatura do líquido químico. Modelos maduros são difíceis de medir líquidos químicos de alta temperatura, mas o CS-620F é capaz de medir em altas temperaturas de até 170 ° C. Medições contínuas com espectro de absorção requerem menos manutenção e consumíveis do que outros métodos.

Características do produto

É possível medir até 92% de alta concentração de ácido fosfórico.

●Nenhum mecanismo de resfriamento e tempo de resfriamento são necessários.

●É possível medir diretamente o ácido fosfórico a alta temperatura (140 a 170 °C) na tubulação circular sem refrigeração.

●As amostras são expostas ao PFA para reduzir o risco de poluição.

●A adoção de ciclos de correção de fundo semestrais ajuda a reduzir significativamente o tempo de inatividade da plataforma.

●Os dados de medição são atualizados a cada 3 segundos para facilitar o controle mais rápido com feedback de concentração.

Estabilidade

▶ A amostra do resultado da medição (líquido real) foi medida durante 1 hora e mostrou boa estabilidade.

▶ Condições de medição

Ciclo de medição: a cada 3 segundos Tempo de medição: 1 hora Média móvel: 16 vezes.

Concentração da amostra (concentração inicial) H3PO4: 92,2% H2O: 7,8% Temperatura da amostra: 141 ° C.

HORIBA/Borita CS-620F tipo de fibra ópticaÁcido fosfórico de alta temperaturaParâmetros do produto:

Mais recomendações:

Concentrômetro de líquidos químicos de fibra óptica CS-600F

O CS-600F oferece recursos mais avançados adequados para a produção, como a capacidade de medição on-line de líquidos químicos de alta temperatura em uma variedade de aplicações, operação estável que reduz o tempo de inatividade e tamanho compacto que aumenta a produtividade espacial.Gestão precisa das concentrações de líquidos químicos necessários para atender a excelentes processos de método úmido de semicondutores.

Tamanho menor e layout mais flexível

O CS-600F é compacto e oferece 36% menos altura, 40% menos volume e 46% menos espaço para o cabo de fibra óptica da unidade de amostra em comparação com o modelo maduro (série CS-100F1). A unidade de fonte de luz e o concentrador podem ser instalados separadamente remotamente, permitindo uma instalação flexível de acordo com a localização da unidade de líquido químico e do equipamento de limpeza.

Medição on-line de alta estabilidade para soluções químicas de alta temperatura (20 a 80 °C)

O novo sistema óptico e os algoritmos de processamento melhorados suportam a medição on-line de líquidos químicos a altas temperaturas, um passo fundamental para um excelente processo úmido. Isso elimina a necessidade de resfriar amostras químicas. A CS-600F da HORIBA é altamente estável.Realiza uma gestão mais eficaz e precisa dos líquidos químicos.

Frequência de correção de fundo significativamente reduzida

A frequência de correção regular é significativamente menor em comparação com os modelos maduros (série CS-100F1), o que, por sua vez, reduz significativamente o tempo de inatividade da plataforma e ajuda a aumentar a produção.

Um único medidor pode medir até seis líquidos químicos (tipo de líquido ou gama de concentração)

Um único concentrador pode medir até seis líquidos químicos (tipo de líquido ou gama de concentração). Com a liberdade de especificar o tipo de líquido e a faixa de concentração, o CS-600F garante atender a vários requisitos de teste.

Valores de medição para até seis componentes (saída em série)

Os modelos maduros (série CS-100F1) podem emitir valores de medição para quatro componentes (saída em série). O novo modelo CS-600F pode emitir medições de até seis componentes em saída serial.O modelo CS-600F simula quatro componentes, enquanto o modelo CS-100F1 tem dois.

Parâmetros do produto: