Analisador de gases espectroscópicos CF4

Analisador de gases espectroscópicos CF4

Necessidades de teste:

As salas limpas precisam controlar os níveis de poluentes. O controle preciso, confiável e de baixo custo de manutenção dos poluentes de gás de sala limpa pode aumentar significativamente a capacidade de produção.

Analisador de gases espectroscópicos CF4

Monitoramento confiável:

DKG One-CF de alta sensibilidade₄Detecção rápida de poluentes no ambiente de produção. Além disso, a detecção de absorção direta garante uma alta estabilidade a longo prazo devido à sua natureza de fundo zero.

Microfone óptico super sensível

Analisador de gases espectroscópicos CF4

Aplicações técnicas:

DKG ONE-CF₄O analisador é baseado na tecnologia de detecção espectroscópica fotoacústica aprimorada de feixe de suspensão ultra-sensível, combinado com uma fonte de luz de laser em cascade de quantidade (QCL) que trabalha em CF₄pico de absorção do espectro infravermelho básico. A combinação dos dois fornece uma sensibilidade suficiente para detectar concentrações mínimas de CF sem demora₄Desbordamento, garantindo ao mesmo tempo um nível ultra-alto de estabilidade. Os ciclos de recalibração podem durar até alguns anos, reduzindo significativamente o custo total de manutenção.

Analisador de gases espectroscópicos CF4

Vantagens:

Controle preciso, confiável e de baixo custo de manutenção da poluição em salas limpas

Tempo de resposta rápido para capturar aumento súbito de concentração

Sistema de operação independente com bomba de troca de gás incorporada

Sem consumíveis ou reagentes químicos

Corto alcance, calibração de ponto único também permite alcance dinâmico notável

Medição de absorção direta, sem deriva

Longo intervalo de calibração (até vários anos)

Alta seletividade, livre de acetaldeide e outros COV

Analisador de gases espectroscópicos CF4

Características:

Monitoramento altamente seletivo de níveis de trace de CF₄

Limite inferior de detecção (LoD) inferior a 0,1 ppb

Tempo de resposta ajustável de 3 segundos a 3 minutos

Ampla gama dinâmica e operação estável

Sem consumíveis

Quantidade de amostra baixa

Sistema de troca de gás integrado

Longo intervalo de recalibração (meses)

Interface de usuário intuitiva

Display integrado para exibição digital ou linear dos resultados

Operação remota via rede local

Analisador de gases espectroscópicos CF4

Opções de caixa:

Análise online em tempo real

DKG ONE-CF₄Oferece ao usuário uma interface simples e intuitiva, incluindo um ecrã de alta resolução e um botão de rotação.

Operação portátil

A caixa portátil opcional é adequada para a detecção de áreas de vazamento previsíveis.

Solução de integração móvel

Vários DKG ONE-CF₄As unidades podem ser integradas no mesmo sistema de monitoramento.

Analisador de gases espectroscópicos CF4

Princípios técnicos

Princípio de funcionamento: espectro sonoro infravermelho

Microfone óptico ultrasensível baseado em um sensor de braço micromotor para medir o movimento microscópico do feixe de braço em combinação com um interferômetro a laser

Fonte de luz: laser em cascada quântica com feedback distribuído

Temperatura da piscina da amostra estável em 50 ° C

Analisador de gases espectroscópicos CF4

Parâmetros de detecção

Tempo de resposta: normalmente de 3 segundos a 3 minutos, dependendo do tempo integral do canal (C.I.T.) e do ciclo de substituição do gás

Limite de detecção: 0.1ppb

Alcance dinâmico: Nível 5 típico (limite de detecção de 100.000 vezes)

Repetibilidade: Menos de 1% dos valores medidos em concentrações padrão em condições de trabalho

Precisão: Dependendo da concentração de calibração, a precisão do gás padrão é típica de 2 a 5%.

Estabilidade de temperatura: sem efeito na faixa de temperatura de funcionamento

Estabilidade de pressão: sem efeito na faixa de trabalho de pressão

Analisador de gases espectroscópicos CF4

geral

Caixa industrial 19" 3 U para todas as instalações de mesa ou rack

尺寸： 48,4 cm W x 13,9 cm H x 44 cm D (19,1 em W x 5,5 em H x 17,3 em D)

Peso: aproximadamente 13 kg

Computador incorporado com monitor frontal de 7"

Capacidade de armazenamento de dados suficiente para monitoramento contínuo por pelo menos um ano

Capacidade total de gás: 10-30ml

O painel traseiro tem quatro interfaces de gás e duas interfaces de amostragem com filtro de partículas de poeira

Alimentação:

Tensão de entrada: 100-240VAC, 50-60 Hz

Potência de entrada: 100 a 200 W (dependendo dos requisitos específicos)

Interface de comunicação: Ethernet, USB

DKG ONE-CF₄Disponível por smartphone, tablet, computador ou outro DKG ONE-CF₄(em breve) Controle remoto

Analisador de gases espectroscópicos CF4

Ambiente

Condições de funcionamento

Faixa de temperatura: 0 ℃ ~ + 49 ℃

Umidade: sem condensação

Pressão: 750 bar a 1050 mbar

Proteção contra poeira/água: IP20 (IEC 529)

Condições de armazenamento

Faixa de temperatura: -20 ℃ ~ + 60 ℃

Condições do gás da amostra

Faixa de temperatura: 0 ℃ ~ + 49 ℃

Umidade: sem condensação, umidade relativa máxima de 80% a 35 ° C,

Descida linear para 35% em temperaturas de 49°C

Pressão: 750 mbar a 1050 mbar

Fluxo de ar: aproximadamente 1L/min

partículas < 1 μm

Analisador de gases espectroscópicos CF4

Padrões:

Conformidade com a Diretiva de baixa tensão 2014/35/UE, a Diretiva EMC 2004/108/CE e a Diretiva ROHS 2 2011/65/UE