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Parque Industrial de Alta Tecnologia da Academia Chinesa de Zhouzhuang, Kunshan, província de Jiangsu
Kunshan Dual Bridge Sensor de Medição e Controle Tecnologia Co., Ltd.
sq@sqsensor.com
Parque Industrial de Alta Tecnologia da Academia Chinesa de Zhouzhuang, Kunshan, província de Jiangsu
O sensor de pressão ultra-microscópico CYG502, com diâmetro externo nominal de 2 mm, foi projetado para uso em experimentos de mecânica de fluidos que exigem tamanhos de instalação menores. É o menor sensor de pressão que nossa empresa lança atualmente.
Os componentes sensíveis à pressão do CYG502 são projetados e fabricados com a tecnologia avançada MEMS (Miro Electronic Machinical Systems). Os elementos sensíveis à pressão de resistência de silício integrados em 3D e processados em duas faces apresentam uma excelente precisão linear. A alta consistência da ponte de tensão de Whiston, fabricada com injeção de íons e tecnologia de fotografia fina, permite que ela tenha um pequeno desvio de temperatura. Adotando a tecnologia de ligação direta de silício e silício, o design de ranura V invertida, otimizou o tamanho da película do chip, reduzindo todo o tamanho do chip para o tamanho de 1 x 1 mm, enquanto a sensibilidade de saída ainda pode atingir o alcance de 100 kpa, alcançando um avanço crítico para a implementação de sensores ultra-microscópicos.
A mudança da ligação silício-vidro no design tradicional para a ligação silício-silício melhora o efeito de combinação térmica e reduz a instabilidade zero causada pelo estresse.
As variedades de produtos de medição de pressão absoluta estão atualmente disponíveis no mercado, e o tipo de pressão superficial está em desenvolvimento.
O sensor de pressão ultra-microscópico tipo CYG502A é em forma de sonda, o diâmetro externo padrão é Ф2,15 mm, o comprimento é de 18 mm, a gama opcional do sensor é de pressão absoluta de 100, 160, 250, 400, 600, 1000, 1600, 2500 e 4000kpa.
O sensor de pressão absoluta CYG502A é pressionado frontalmente por componentes sensíveis. Portanto, é aplicável apenas a gases secos com meios como não corrosivos e não condutores. Tem uma zona de temperatura de trabalho bastante ampla, até -55 ℃ ~ + 120 ℃, também tem excelentes propriedades dinâmicas de alta frequência, a frequência inerente de seus componentes sensíveis de menor alcance > 200kHz, o tempo de subida é de sub-microsegundos.
1, Parâmetros de indicadores de desempenho
| Indicadores/Classificação | Precisão não linear ±%FS |
Repetibilidade atrasada %FS |
Coeficiente de temperatura zero ×10-4FS /℃ |
Factores de temperatura de sensibilidade ×10-4FS /℃ |
Flutuando no zero <mv/8h |
| JA | 0.5 | 0.1 | 5 | 5 | 0.2 |
| JB | 0.2 | 0.1 | 2 | 2 | 0.1 |
Saída de escala completa: valor mínimo 30mv valor típico 80mv valor máximo 130mv
Impedência de entrada e saída: valor mínimo 3 kΩ valor típico 5 kΩ valor máximo 7 kΩ
Corrente de trabalho de entrada: 1.5mA (tipo de pressão métrica) 1mA (tipo de pressão absoluta) (fonte de corrente constante)
Temperatura de funcionamento: -55 ℃ ~ + 120 ℃
Gama de temperatura de compensação: -10 ℃ ~ + 80 ℃
Capacidade de sobrecarga: 200% do alcance nominal
Sensibilidade à aceleração: <0,001% FS/g
Dimensões: CYG502A
