D07-7 Controlador de fluxo de massa/medidor de fluxo

NegociávelAtualização em02/09

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Visão geral

O controlador de fluxo de massa / medidor de fluxo D07-7 é um medidor de fluxo de massa térmico, o controlador de fluxo de massa pode ser aplicado para medir e controlar vários gases, além da medição, o fluxo de massa do gás também pode ser controlado com precisão, o medidor de fluxo de massa (MFM) pode medir com precisão o fluxo de massa do gás. O produto D07-7 é um produto básico de medição de fluxo de sete estrelas que atende às necessidades básicas de medição de fluxo do cliente.

Detalhes do produto

Os controladores de fluxo de massa (MFC) são usados para medir e controlar com precisão o fluxo de massa de um gás. Eles têm aplicações importantes em pesquisas científicas e produção em diversas áreas, como a indústria de semicondutores e circuitos integrados, disciplinas de materiais especiais, indústria química, indústria petrolífera, medicina, proteção ambiental e vácuo. Suas aplicações típicas incluem: equipamentos de processo eletrônico, como difusão, oxidação, extensão, CVD、 Gravação de plasma, pulverização, injeção de íons; Além de equipamentos de revestimento, fusão de fibras ópticas, dispositivos de microreação, sistemas de distribuição de gás misturado, medição capilar, cromatografia de gás e outros instrumentos de análise.

D07-7 Controlador de fluxo de massa/medidor de fluxoCom alta precisão, boa repetibilidade, velocidade de resposta rápida, inicialização suave, estabilidade e confiabilidade, ampla faixa de pressão de trabalho e outras características (pode trabalhar em condições de alta pressão ou vácuo), sua operação é fácil de usar, pode ser instalado em qualquer local e fácil de conectar com o computador para o controle automático. Os controladores de fluxo de massa da série D07 são geralmente usados com produtos como monitores de fluxo da série D08, conectados entre o controlador e o monitor por um cabo especial.

Características:

• MFC com vedação de borracha e circuito analógico

• Diversão tubular, longa vida útil

D07-7 Controlador de fluxo de massa/medidor de fluxoParâmetros técnicos:

número	Tipo	D07-7K 型	Modelo D07-7B	Modelo D07-7C	Modelo D07-7CM
1	Especificações de fluxo	(20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0 ~ 1,2,3,5,10) SLM	(0 ~ 5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0 ~ 1,2,3,5,10) SLM	(0 ~ 5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0 ~ 1,2,3,5,10) SLM	( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0 ~ 1,2,3,5,10) SLM
2	Precisão	±1 % F.S.	±1,5 % F.S.	±1,5 % F.S.	±1,5 % F.S.
3	linear	±1 % F.S.	±1 % F.S.	±1 % F.S.	±1 % F.S.
4	Precisão de repetição	± 0,2 % F.S.	± 0,2 % F.S.	± 0,2 % F.S.	± 0,2 % F.S.
5	Tempo de resposta	Características elétricas: 10 sec; Propriedades do gás: ≤ 4 sec	Características elétricas: 10 sec; Propriedades do gás: ≤ 4 sec	Características elétricas: 10 sec; Propriedades do gás: ≤ 4 sec	10 segundos
6	A pressão caiu.	ˉ	ˉ	ˉ	< 0,01 MPa
7	Intervalo de pressão de trabalho	(0,1 ~ 0,5) MPa	(0,1 ~ 0,5) MPa	(0,1 ~ 0,5) MPa	< 0,01 MPa
8	Coeficiente de temperatura	Zero: ≤±0,1% FS/℃; Span: ≤±0,2% FS / ℃;	ˉ	ˉ	ˉ
9	Máxima pressão de trabalho	1 MPa	1 MPa	1 MPa	1 MPa
10	Resistência à pressão	3 MPa	3 MPa	3 MPa	3 MPa
11	Temperatura ambiente de trabalho	5 ℃ ~ 45 ℃	5 ℃ ~ 45 ℃	5 ℃ ~ 45 ℃	5 ℃ ~ 45 ℃
12	Entrada e saída	0 V ~ + 5,00 V (Impedência de entrada superior a 100K, corrente de saída não superior a 3mA)	0 V ~ + 5,00 V (Impedência de entrada superior a 100K, corrente de saída não superior a 3mA)	0 V ~ + 5,00 V (Impedência de entrada superior a 100K, corrente de saída não superior a 3mA)	0 V ~ + 5,00 V (Impedência de entrada superior a 100K, corrente de saída não superior a 3mA)
13	fonte de alimentação	+15 V 50 mA; - 15V 200 mA	+15 V 50 mA; - 15V 200 mA	+15 V 50 mA; - 15V 200 mA	+15 V 50 mA - 15 V 50 mA
14	peso	1,1 kg	1,1 kg	1,1 kg	0,92 kg

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