D07-9 Controlador de fluxo de massa/medidor de fluxo

NegociávelAtualização em02/09

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Visão geral

O controlador de fluxo de massa / medidor de fluxo D07-9 é um medidor de fluxo de massa térmico, o controlador de fluxo de massa pode ser aplicado para medir e controlar vários gases, além da medição, também pode controlar com precisão o fluxo de massa do gás, o medidor de fluxo de massa (MFM) pode medir com precisão o fluxo de massa do gás. O produto D07-9 é um produto analógico com alta precisão e tempo de resposta rápido.

Detalhes do produto

Mass Flow Meter (MFM) para medição precisa do fluxo de massa de um gás; Os controladores de fluxo de massa (MFC) são usados para medir e controlar com precisão o fluxo de massa de um gás. Eles têm aplicações importantes em pesquisas científicas e produção em diversas áreas, como a indústria de semicondutores e circuitos integrados, disciplinas de materiais especiais, indústria química, indústria petrolífera, medicina, proteção ambiental e vácuo. Suas aplicações típicas incluem: equipamentos de processo eletrônico, como difusão, oxidação, extensão, CVD、 Gravação de plasma, pulverização, injeção de íons; Além de equipamentos de revestimento, fusão de fibra óptica, dispositivos de microreação, sistemas de distribuição de gás misturado, medição capilar, cromatografia de gás e outros instrumentos de análise.

D07-9 Controlador de fluxo de massa/medidor de fluxoCom alta precisão, boa repetibilidade, velocidade de resposta rápida, inicialização suave, estabilidade e confiabilidade, ampla faixa de pressão de trabalho e outras características (pode trabalhar em condições de alta pressão ou vácuo), o uso de conexões padrão internacional, sua operação é fácil de usar, pode ser instalado em qualquer local e fácil de conectar com o computador para o controle automático.

Os controladores de fluxo de massa e os medidores de fluxo de massa da série D07 são geralmente usados com produtos como monitores de fluxo da série D08, conectados entre o controlador de controle e o display por um cabo especial.

característica

• Tipo de fluxo médio
• MFC com vedação de borracha e circuito analógico
• O divisor não é fácil de bloquear
• Conexão mecânica padrão internacional com ficha elétrica DB15

D07-9 Controlador de fluxo de massa/medidor de fluxoParâmetros técnicos

Tipo	Modelo D07-9E	Modelo D07-9EM	Modelo D07-9F	D07-9FM 型
Especificações de fluxo	(0 ~ 20,30,50,100,150,200,250) SLM	(0 ~ 20,30,50,100,150,200,250) SLM	0 ~ 20,30,50,100,150,200,250 SLM	0 ~ 20,30,50,100,150,200,250 SLM
Precisão	±2 % F. O S.	±2 % F. O S.	±2% F. O S.	±2 % F. O S.
linear	±1 % F. O S.	±1 % F. O S.	±1% F. O S.	±1 % F. O S.
Precisão de repetição	±0,2 % F. O S.	±0,2 % F. O S.	± 0,2% F. O S.	±0,2 % F. O S.
Tempo de resposta	(1 ~ 4) segundos	(1 ~ 4) segundos	≤ 4 segundos	≤4 segundos
Intervalo de pressão de trabalho	20, 30 SLM: (0,05 ~ 0,30) MPa (7,3 ~ 43,5 psid) 50.150 SLM: (0,10 ~ 0,30) MPa (14,5 ~ 43,5 psid) 200.250 SLM: (0,15 ~ 0,30) MPa (21,8 ~ 43,5 psid)	-	20,30 SLM: (0,05 ~ 0,30) MPa (7,3 ~ 43,5 psid) 50 ~ 150 SLM: (0,10 ~ 0,30) MPa (14,5 ~ 43,5 psid) 200.250 SLM: (0,15 ~ 0,30) MPa (21,8 ~ 43,5 psid)	-
A pressão caiu.	-	20 ~ 100SLM: <0,02 MPa (2,9 psid); >100SLM: <0,05 MPa (7,3 psid)	-	20 ~ 100SLM: <0,02 MPa (2,9 psid); > 100SLM: <0,05 MPa (7,3 psid)
Máxima pressão de trabalho	1 MPa	1 MPa	1 MPa	1 MPa
Resistência à pressão	3 MPa (435,1 psig)	3 MPa (435,1 psig)	3 MPa (435,1 psig)	3 MPa (435,1 psig)
Temperatura ambiente de trabalho	5 ℃ ~ 45 ℃	5 ℃ ~ 45 ℃	5℃ ~ 45℃	5 ℃ ~ 45 ℃
Entrada e saída	0 V ~ + 5,00 V (Impedência de entrada superior a 100K, corrente de saída não superior a 3mA)	0 V ~ + 5,00 V (Impedência de entrada superior a 100K, corrente de saída não superior a 3mA)	4 a 20 mA ou 1 a 5 VDC	4 a 20 mA ou 1 a 5 VDC
fonte de alimentação	+15 V 50 mA - 15V 400 mA	+15 V 50 mA - 15 V 50 mA	24VDC 400 mA	24 VDC 100 mA
peso	2,6 kg	1,5 kg	2,6 kg	1,5 kg

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