Sistema de Purificação Série DX-7N

O sistema de purificação de gás catalítico de baixa temperatura usa catalisadores e adsorentes patenteados, com uma longa vida útil, alta profundidade de purificação, alta capacidade de flutuação instantânea do gás antigo e outras vantagens, usando adsorção física e reação catalítica combinada, capaz de purificar o gás inerte e H2O, O2, CO, CO2, H2 e MCHC em N2 a temperatura ambiente para níveis menores de 1ppb, também pode remover O2, CO2 e H2O em H2. O sistema tem 3 tipos de operação manual, semi-automático e totalmente automático, que podem ser escolhidos de acordo com os requisitos de uso.

Desempenho do produto

Adequado para uso com gás bruto de pureza não inferior a 99,999%

◎ Este produto é de estrutura dupla, um grupo de trabalho, outro grupo de regeneração de reposição

◎ alta profundidade de purificação, exportação de vários conteúdos de impurezas <10ppb ◎ polimento eletroquímico 316 (L) aço inoxidável

* Filtro de partículas de alta eficiência incorporado

◎ Utilização conjunta de processo de catálise e adsorção

Temperatura de funcionamento baixa, equipamento mais eficiente em energia

Aplicações do produto

Purificação de gás de proteção: indústria de aço, petroquímica e maquinária

◎ Purificação de terminais de gás industriais eletrônicos como silício monocristalino de alta pureza, expansão de chips, circuitos integrados em massa e produção de produtos fotoelétricos

Equipamento de processo de semicondutores: CVD, MOCVD, HVPE, forno de difusão, etc.

* Purificação de gás em massa

Parâmetros do sistema