Gravadora de mesa_Enciclopedia_Jiangsu Rebo Fornecimento Hangzhou / Xangai e outros lugares

Parâmetros da gravadora de mesa: 1. área de exposição máxima: 160mm * 160mm. ⒉. Resolução de exposição: 1um (cola positiva com espessura de cola ≤ 0.5um). Precisão de alinhamento: 1um (polimento padrão de wafer). Intensidade da fonte de luz: 35mW / cm2. Comprimento de onda de exposição: fonte de luz LED (importação de lâmpadas, vida útil 10.000 horas)

　　Gravadora de mesaParâmetros:

Área de exposição máxima: 160mm * 160mm

⒉. Resolução de exposição: 1u m (cola positiva com espessura de cola ≤0.5um)

Precisão de alinhamento: ± 1um (polimento padrão de wafer)

Força da fonte de luz: 35mW / cm2

Comprimento de onda de exposição: fonte de luz LED (perlas de luz importadas, vida útil > 10.000 horas)

Modo de exposição: temporização (modo de contagem regressiva)

Máscara amostra faixa de movimento relativo: X: superior a ± 5mm;

8.Y: superior a ± 5 mm; 0: superior a ± 6 °

Tamanho da máscara: 7 polegadas, Especificações da amostra: 6 polegadas (wafer)

10. ajuste digital do intervalo de alinhamento e do intervalo de exposição

Espaço de separação de amostra de máscara: 6 = O-500um ajustável contínuamente

Alinhamento: alinhamento automático, pode aumentar o tipo de marca de alinhamento de acordo com as necessidades do cliente, no total não mais de 4 grupos

Transmissão automática: transmissão automática robótica (braço robótico de amostra e garfo específico), com função de posicionamento pré-alinhado

Alcance de varredura microscópica: Y: ± 40 mm (configuração digital)

15. com exposição flutuante de pressão positiva, exposição de contato rígido, exposição de contato de pressão e exposição de proximidade quatro funções CCD + lente telescêntrica + alinhamento do monitor, imagem óptica

16. A pressão de contato ajustada garante repetição através do sensor

17. gama de distância ajustável de duplo objetivo: 30mm-130mm