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Hefei Lightweight Electronics Technology Co., Ltd.
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Hefei Lightweight Electronics Technology Co., Ltd.

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Imagens de mesa

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Visão geral
O imager de mesa MSD-150D é usado principalmente no processo de imagem pós-exposição. O equipamento é composto principalmente por unidade de cavidade de visualização, unidade de braço de balanço automático e sistema de abastecimento de líquido, sistema de eixo, sistema de controle e sistema de drenagem, etc., toda a máquina adota a estrutura da estrutura, a aparência é de aço inoxidável espelhado, sem poeira e não adsorbe partículas, o modo de trabalho é manual para subir e baixar, concluir automaticamente o processo de visualização. O substrato da unidade de visualização do imager de mesa $ r $ n usa a adsorção a vácuo e a fixação do parafuso em torno, usando servomotor de importação para garantir a velocidade de rotação, aceleração, alta precisão de controle e boa repetibilidade; O sistema de abastecimento de líquido utiliza o abastecimento direto de líquido de fábrica ou recipiente de pressão.
Detalhes do produto

Imagens de mesaO MSD-150D é usado em processos de tratamento de superfície que exigem uniformidade e consistência de imagem e é adequado para folhas de silício, fosfeto de índio, carboneto de silício, nitreto de gálio, etc. Aplicado principalmente em wafers de 4 e 6 polegadas e quadrados. Adequado para universidades, institutos e clientes corporativos.

A divisão também oferece câmeras de mesa de 8 polegadas e 12 polegadas, mais funções como sopro, lavagem nas costas, etc., por favor, consulte.

Imagens de mesaEspecificações técnicas:

projeto

especificação



Subjecto

Material da carcaça: aço inoxidável espelho

Tamanho da amostra de processamento: dentro do wafer de 6 polegadas

Rolamento: PTFE

Motor:

Velocidade: 20-3000 rpm

Braço: Automático

Interface de operação: tela táctil de 7 polegadas


Dispositivo de visualização

Dispositivo de medicação:

Visualização x1 (temperatura opcional)

DIW x1



sistema de controlo

Sistema: PLC

Interface de uso: tela táctil de 7 polegadas

Fórmula: Modo manual e automático

Programação: 50 grupos 20 passos



Dispositivos de segurança

Proteção contra infiltração de vácuo do rolamento de wafer:

Detecção de vácuo:

Configuração digital: proteção do limite inferior do vácuo

Executar alerta de fim



Acessórios

Bomba de vácuo x1

Visualização x1

Tanque de água deionizada x1

Barro de resíduos x1

Sucção de vácuo x1