Gravadora de luz direta

NegociávelAtualização em02/09

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Visão geral

A série CG-MLC6 é um produto fotográfico compacto. O dispositivo usa a tecnologia de fotografia digital, sem a necessidade de uma versão de máscara, e é capaz de transferir informações de layout diretamente para o substrato revestido com cola fotográfica. A série CG-MLC6 é flexível, compacta e econômica, especialmente para universidades, laboratórios e instituições de pesquisa. Seus principais produtos de aplicação incluem vários tipos de produção de MEMS (como microfones MEMS, sensores de pressão, acelerômetros, giroscópios, sensores de ultra-som, sensores piezoelétricos), produção de placas de máscara, etc.

Detalhes do produto

Gravadora de luz diretaCaracterísticas do produto:

Sistema de fotografia digital

Edição sem máscara de micronanodispositivos para gravação direta

Edição Máscara de Luz

Função de Exposição Estrutural 3D

Alinhamento automático

Alinhamento de marcas personalizado pelo usuário

Funcionalidade de exposição fixa de visualização

Foco automático

Exposição irregular da amostra

Rápido e fino em dois modos de exposição

Suporte a vários formatos de dados (GDSII / Gerber / O DB ++)

Alinhamento traseiro (opcional)

Fonte de luz LD 405nm (375nm opcional)

Gravadora de luz diretaParâmetros:

modelo	O MLC Lite
modelo	ModeⅠ	Modo II	Modo III
Tamanho mínimo da característica	0,5 μm	1μm	2μm
Distância mínima de linha	0,8 μm	1,2 μm	2,5 μm
Uniformidade do CD	10%	10%	10%
Precisão de duas camadas 5x5m㎡	500nm	800 nm	1000 nm
Precisão de duas camadas 50x50m㎡	800 nm	1000 nm	1500 nm
Capacidade	50mm²/min	100mm²/min	300 mm²/min
Tamanho mínimo do substrato	5 milímetros x 5 milímetros
Espessura do substrato	0,1 - 12mm (opcional)
Área de exposição	150 milímetros x 150 milímetros
Exposição em escala de cinza	Opcional 128
Fonte de exposição	Laser, 405nm ou 375nm

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